中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #293810872 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-Lは、日本のメーカーであるTEL Ltd。が設計・製造する、先進的で汎用性の高いエッチャー/アッシャーです。多種多様な用途に使用可能な湿式エッチング/アッシング装置です。ユーザーに設定可能な変数の範囲を提供し、特定のアプリケーションや実験の特定のニーズを満たすために機能することができます。システムは2つのコンポーネントで構成されています。ホストエッチオーブンと制御ソフトウェア。ホストオーブンは、ステンレス製のチャンバー、持ち運び可能なガスバルブ、および2つの独立して作動する真空ポンプで構成されています。各ガスバルブは独立したガスラインで接続されており、エッチング動作の強度と持続時間の両方で個別に制御することができます。この柔軟な構成により、ユーザーは任意の特定の実験やアプリケーションの要件を満たすようにユニットを簡単に構成することができます。TEL INDY B Lのウェットエッチングプロセスは、ディップ、スプレー、ドレインなど、さまざまな方法で実装できます。アッシングプロセスは、熱酸化プロセスを使用してターゲット表面を酸化します。これは正確な温度および圧力条件の下で行われ、ユーザーはプロセスに最適なセットポイントを正確に決定することができます。このマシンには、潜在的な障害が検出されるたびにエッチング/アッシングプロセスを即座に停止するように設計されたマイクロプロセッサ制御の安全ツールも装備されています。これにより、ユーザーと資産の近くにいる人員の安全性が確保されます。また、東京エレクトロンINDY B-Lには、エッチング/アッシング工程から収集したプロセスパラメータやデータを詳細に解析するための各種診断・解析ツールが搭載されています。これにより、エッチングまたはアッシングプロセスに関する貴重な洞察が得られます。ユーザーはそれに応じてプロセスパラメータを調整し、プロセス全体の結果を改善することができます。最後に、TOKYO ELECTRON INDY B Lは直感的なユーザーインターフェイスを備えており、目的のパラメータを設定し、エッチング/アッシュ処理を監視するための明確で使いやすいインターフェースをユーザーに提供します。これにより、エッチング/アッシング実験を容易に実施でき、結果を正確に収集することができます。全体的に、TEL/TOKYO ELECTRON INDY B Lモデルは、高精度、信頼性、安全性に優れた様々な用途で使用できる、高度で信頼性の高い汎用性の高いエッチャー/アッシャー機器を提供します。このシステムは、エッチングとアッシング実験を実施し、正確で高品質な結果を提供するための包括的なプラットフォームをユーザーに提供します。
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