中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #293809898 を販売中
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ID: 293809898
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2007
Vertical furnace, 12"
Process: D-Poly
Hard Disk Drive (HDD)
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-Lは、半導体および集積回路デバイスの製造用に設計されたエッチャー/アッシャーです。汎用性が高く、統合された高速応答装置で、浅いトレンチ絶縁（STI）、高いアスペクト比の金属エッチング、浅いトレンチ金属ストライプ、浅いトレンチ絶縁（STI）、深部トレンチ絶縁（DTI）などの幅広い用途に最適です。TEL INDY B Lは、最新の半導体製造技術を活用しています。TEL独自のCST （Cleanliness Control System）を採用し、エッチングフィルムを制御することで欠陥が少なくなります。TOKYO ELECTRON INDY B-Lは様々な素材に対応でき、エッチング部とアッシャー部は幅広い柔軟性と精度を提供します。INDY B Lは埋められた接触装置およびパターンワイヤー、接触およびinterlevelの金属化のための浅いtrenchの金属のストライプ、装置分離のための深いtrenchの分離をエッチングするのに使用することができます。エッチング処理は高度にカスタマイズ可能で、エッチング時間、温度、圧力、ガス流量を選択できます。また、異なるフィルムを効率的に処理するためのプログラム可能なプラズマ制御機能も含まれています。TEL INDY B-Lは、ウェーハ表面に沿ったリアクタントを均一に分布させるための冷却装置と可変領域ノズルを内蔵し、ウェーハ表面に均一なフィルムを堆積させて再配置を防止するフラッドガンを内蔵しています。アッシャーセクションにはタッチスクリーンインターフェイスもあり、エッチング&アッシングプロセスの簡単なセットアップと操作が可能です。結論として、TEL Indy-B-Lエッチャー/アッシャーは、半導体および集積回路デバイスの製造用に設計された統合された高性能ツールです。これは、制御エッチングフィルムのための高度な技術の範囲と簡単なセットアップと操作のためのユーザーフレンドリーなインターフェースを備えています。高度にカスタマイズ可能なエッチングおよびアッシング処理により、半導体製造のさまざまなアプリケーションに最適です。
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