中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #293643336 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L （Induction Etcher/Asher）は、TELが半導体製造に特化して開発した高精度の真空加工機です。このエッチャー/アッシャーは、優れたプロセス均一性、低粒子生成、高精度エッチングを実現するために設計されています。TEL INDY B Lは極小構造のディープエッチングを容易にし、高いアスペクト比の構造に優れたプロファイル制御を提供します。東京エレクトロンINDY B-Lは、異方性誘導エッチング（AIE）、等方性誘導エッチング（IIE）、四面体エッチング（TE）の3種類のエッチングを提供しています。AIEは高い方向性（異方性）エッチングを提供し、急なサイドウォール機能を形成するのに適していますが、IIEとTEは緩やかに傾斜したプロファイルを作成するために使用できます。さらに、TEプロセスは、エッチング精度の高い精密な3次元構造を製造するために、精密なエッチング制御を提供するために調整することができます。TEL Indy-B-Lは、マルチチャンバー環境を備えており、同じマシン上でエッチングとアッシングの両方を行うことができます。エッチングチャンバーは、低圧マイクロ波電源の誘導コイルを使用し、加工中の材料の偶発的なイオン化を防ぐように設計されています。アッシングチャンバーは反応性ガスを使用して、エッチングの均一性とスループットの向上を促進します。INDY B Lには、GUIベースのユーザーインターフェイスを利用した高度なエッチング/加工制御装置も搭載しています。直感的なメニュー駆動環境により、エッチング結果を正確かつ正確に制御することができます。また、さまざまな診断、プロセス履歴ログ、データ転送、および設定テンプレートを提供し、高品質の結果を高効率で信頼性の高いエッチング/処理できます。要するに、TEL/TOKYO ELECTRON INDY B-Lは、最も要求の厳しい半導体プロセス向けに設計された高度なエッチング/アッシングツールです。このマシンは、優れたエッチングの均一性、パーティクル制御、およびプロファイル制御を提供し、強力な制御資産に裏打ちされています。INDY B-Lは、小規模構造を正確かつ正確にエッチングするために独自に装備されており、さまざまなエッチングおよび加工目的に幅広く使用できます。