中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #293643320 を販売中
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タップしてズーム
ID: 293643320
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2007
Furnace, 12"
Process: DCS-HTO
Load lock system
KAWASAKI W/T Robot
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-Lは、幅広い半導体製造に必要とされる様々な表面処理プロセスを処理するために設計されたエッチャー/アッシャーです。このハイスペックエッチャー/アッシャーは、より高速な処理速度とより高い精度を保証する多数の機能を誇っています。独自の周辺封じ込め装置により、プロセスデブリを最小限に抑え、エッチングノズルの詰まりやその他のプロセス関連の問題によるダウンタイムの削減に役立ちます。これは、これまで見られなかったレベルの信頼性で、ユーザーがより高い歩留まりを達成するのに役立ちます。脱気時間を省き、エッチング率の高い低圧プラズマシステムを採用しています。また、幅広いプロセスガス中のドライエッチング、ドライストリップ、ウェットストリップをサポートし、ハライドエッチングおよびプラズマストリッププロセスと互換性があります。エッチャー/アッシャーは、エッチングの均一な条件を保証する温度制御基板ホルダーを備えています。これにより、熱衝撃を防ぎ、プロセスの安定性を向上させます。また、ユニットのダウンタイムを低減する高精度トランスファーアームを搭載し、安全なプロセス条件を維持しながら上下の基板を正確にピックアップし、基板の積み下ろし時間を短縮します。TEL INDY B Lには、RF駆動のフラットパネルプラズマ無線周波数制御機が搭載されており、すべてのエッチングプロセスにおいて同心性と均一性を確保します。これにより、処理時間と基板の歪みを低減できます。最後に、このエッチャー/アッシャーには高性能クリーニングツールと品質保証資産が装備されており、処理された基板が最高水準を満たしていることを保証します。このモデルの電子制御装置は、トータルプロセスの再現性を保証し、最も要求の厳しい半導体アプリケーションの高品質な処理を保証するための理想的なツールです。
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