中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #293643318 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-Lは、半導体製造分野での応用を想定した先進的なエッチング・アッシング装置です。TEL INDY B Lは、高性能で汎用性の高いプラットフォームとして設計されており、高いスループットと高い柔軟性を実現します。TOKYO ELECTRON INDY B-Lは、アウェイ砲塔、アッシングモジュール、3つの独立した酸素、CF4、 C3F8源、2つの独立した基板源、2つの独立したサイドブロッド、および1つの温度チャンバーを含む完全なコンポーネントを含む水平に取り付けられたプラットフォームで構成されています。また、TEL/TOKYO ELECTRON INDY B Lには、RF発電機とオプションのフローティングサブストレートチャックが搭載されており、特定のプロセスのニーズに合わせてシステムをカスタマイズすることができます。TEL/TOKYO ELECTRON INDY B-Lは、精密な周波数制御と高速デジタルチューニングを可能にするデジタルオシレーター設計を採用しています。アウェイタレットを使用することで、各プロセスに迅速かつ効率的なマシン設定が可能になり、ユーザーのプロセス性能を最適化できます。エッチングプロセスの品質は、独立した酸素、CF4、およびC3F8源、ならびに二重独立した基板源を活用することにより、さらに向上させることができます。TEL Indy-B-Lのデュアル基板ソースにより、低kおよび高kの両方の材料を同じユニットで処理することができ、基板タイプごとに専用のエッチャーを必要としません。高度な温度制御とRFジェネレータを活用することで、エッチング工程の品質と性能をさらに向上させることができます。TOKYO ELECTRON Indy-B-Lの温度チャンバーは真空密閉型で、高度なプラズマ温度制御装置を備えており、幅広いプロセスアプリケーションで正確な温度管理が可能です。INDY B-Lの統合された高出力RFジェネレータは、正確な周波数制御と高速デジタルチューニングを可能にするように設計されており、エッチングプロセスのプラズマパラメータを制御するユーザーの能力を大幅に向上させます。結論として、TEL INDY B-Lは、半導体製造分野の用途向けに設計された高度なエッチングおよびアッシングツールです。INDY B Lは、高性能で汎用性の高いプラットフォームとして特別に設計されており、ユーザーは高いスループットと高い柔軟性を実現できます。デジタル発振器の設計、高度な温度制御、RF発電機と組み合わされた広大なコンポーネント群は、Indy-B-Lをlow-kとhigh-kの両方の材料に理想的なエッチングおよびアッシング資産としています。