中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #293637531 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-Lは、半導体デバイス製造用に設計されたエッチャーです。この機械は、サンプル材料の精密なエッチングを最小限の熱効果で提供するように設計されています。高精度のエッチング機構を採用し、試料表面から材料を除去します。エッチャーは高い精度と再現性を備えており、半導体基板から薄膜を除去するための理想的なツールです。TEL INDY B Lは、さまざまなエッチング技術を使用して、さまざまな要件を満たすためにエッチングすることができます。この装置は、P。C。E。T（プラズマケミカルエッチングツール）とV。E。E。T（真空エッチングツール）の2つのエッチングツールで構成されています。P。C。E。Tはケミカルエッチングに使用され、より精密なエッチング制御のためのプラズマスパーク発生器が装備されています。V。E。E。Tは真空エッチングに使用されます。このツールには、チャンバー内の圧力を正確に制御するための調整可能な圧力システムが装備されています。TOKYO ELECTRON INDY B-Lには、高度なモニタリングユニットも装備しています。この機械は絶えず圧力、温度およびプラテン電圧のようなエッチング変数を監視します。また、エッチング中にサンプルの画像を生成するためのビジュアルディスプレイも含まれています。このツールは、追加の表示オプションのために外部モニターに接続することができます。エッチャーは、さまざまなプロセスをサポートするさまざまな機能と柔軟性を提供します。ユーザーによるサンプルのロードとアンロードを可能にするオートローダを備えています。また、プロセスガスバルブとサンプル調製リフトを配列しており、サンプルをチャンバーに簡単に持ち上げることができます。INDY B-Lは、サンプルへの熱効果を最小限に抑え、一貫したエッチング結果を提供するように設計されています。エッチング時に一貫した温度を維持するための温度制御アセットを備えています。エッチャーには、エッチングサイクルの進行を監視し、エッチング速度または温度の重要な変化をユーザーに警告するオートサイクルセンサーもあります。東京エレクトロンIndy-B-Lは、半導体デバイス製造のための信頼できる生産設備と考えられています。その柔軟性と機能の範囲は、さまざまなプロセスのニーズに対応することができます。高度な監視モデルは、一貫した結果を保証し、自動サイクルセンサーは、エッチングの条件の変化をユーザーに警告します。その性能と信頼性により、TEL INDY B-Lは半導体デバイス上の複雑な機能をエッチングするための理想的なツールとなります。