中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #293637439 を販売中
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ID: 293637439
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2012
LPCVD Furnace, 12"
Wafer type: Si semi STD Notch
(100) Production wafers
Maximum operating temperature: 500-1000
N2 Load lock
Boat type handling position
O2 Density control for N2 Load lock
N2 Boat shower wafer cooling
560A Furnace temperature controller
VMM-56-002 Heater
Wafer / Carrier handling:
(25) Carrier type: FOUP
ENTEGRIS A300
Carrier stage capacity: 16
Pin pad A, B
Fork material: Al203 and peek
W/T Type: 1+4 Edge grip
W/T Auto teaching
Furnace facilities:
Furnace exhaust connection point: Top connection
Cooling water connection point: Bottom connection
Gas specification:
IGS 1.5" W-seal rail-mount
FUJIKIN IGS
Tubing bend bend (Less than 90°)
HORIBA STEC
Incoming gas connection point: Bottom connection
Gas vent connection point: Bottom connection
Gas unit exhaust connection point: Bottom connection
Process gas exhaust connection point: Bottom connection
Exhaust specification:
MKS Vacuum gauge-press controller
MKS Vacuum gauge-press monitor
MKS Vacuum gauge-pump monitor
CKD-VEC Main valve
Condenser
Reactor specification:
Tube material: Quartz (outter), quartz (inner)
Inner tube Type (LP): Straight
Inner T/C: Outer tube inferior (wall type)
Tube sealing: O Ring
Soft backfill injector
Boat type: (117) Slots, pitch, 8 mm
Boat rotation
Pedestal type: Quartz
No shutter purge type
Interface specification:
Host communication: Comply with GJG
Equipment host I/F connection: Gas box top HSMS
Ingenio
OHT Capability
Load port operation: Upper
PIO I/F Location: FNC Top
HOKUYO DMS-HB1-Z PIO
RF Carrier ID reader writer type
CIDRW L/P: Read and write
ASYST ATR 9100 CIDRW
TEL CIDRW
User interface
Signal tower model: Customized
Signal tower colors (From the Top): Red / Green / Yellow
Signal tower location: Front
Front operation panel
MMI and gas flow chart: Gas box and front operation panel installed
Indicator type: Superset
Operator switch: Operator access / orange
Pressure display unit (gas inlet / vacuum): Mpa / Pa
Cabinet exhaust pressure display unit: Pa
Gas leak detector:
Gas1 / SiH4
Gas2 / PH3
Gas3 / ClF3
Cable length:
FNC-Power box: 20 meter
Power box -refill system: 30 meter
Power specification:
Voltage: 208 VAC, 3 Phase
Phase connection type: Star connection
Voltage single-phase: 120 VAC
Single-phase connection type: Grounded
Frequency: 60 Hz
Power cable input entrance location: Power box top
2012 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-Lは、半導体デバイスの製造に使用されるエッチャー（アッシャーとも呼ばれる）です。自動化されたプラットフォーム上に構築されたシングルウェーハ装置であり、高精度を提供します。300枚以上のウェハ/時間を処理できる積み下ろしシステムを備えており、最高歩留まりを維持しながら迅速かつ正確な処理を保証します。TEL INDY B Lは堅牢で信頼性の高いユニットで設計されており、最も要求の厳しい製造において極めて高い生産性と精度を実現します。TOKYO ELECTRON INDY B-Lは、サイクルタイムを最小限に抑え、安定したエッチング条件を実現するダイレクトドライブロードポートを搭載しています。また、ウェハハンドリングマシンを備えており、ウェハーを確実に固定して工具に安全に搬送し、ハンドリング中のずれや破損を防ぎます。TOKYO ELECTRON Indy-B-Lの高度な制御ツールと包括的なメッセージセンターは、エッチングプロセスに関するリアルタイムの洞察を提供し、最適な結果を保証します。TEL/TOKYO ELECTRON INDY B Lは、エッチングレシピを多彩に取り揃えた先進的なオープンエア技術を搭載しています。これにより、各ウェーハで一貫した性能と品質を実現し、エッチャーは幅広いガスやメディアでエッチングすることができます。TEL/TOKYO ELECTRON INDY B-Lには、プロセスモニタリングをリアルタイムで行うことができ、過剰エッチングを防ぎながら最適な結果を得ることができます。東京エレクトロンINDY B Lは、これらの機能に加えて、お客様のニーズに合わせた幅広いカスタム仕様を提供しています。TEL Indy-B-Lは、様々なサイズとデザインが用意されており、様々なメディア用に構成することができ、現場での洗浄機能を提供します。Indy-B-Lには広い温度範囲があり、精密で均一なプロセスを可能にします。全体的に、TEL INDY B-Lは、高い歩留まりと高速サイクルタイムを提供しながら、優れた性能と品質を提供するエッチャーです。幅広い機能とカスタム構成により、半導体製造に最適なソリューションです。
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