中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #293637436 を販売中
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ID: 293637436
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2009
LPCVD Furnace, 12"
Wafer type: Si semi STD Notch
(100) Production wafers
Maximum operating temperature: 500-1000
N2 Load lock
Boat type handling position
O2 Density control for N2 Load lock
N2 Boat shower wafer cooling
560A Furnace temperature controller
VMM-56-002 Heater
Wafer / Carrier handling:
(25) Carrier type: FOUP
ENTEGRIS A300
Carrier stage capacity: 16
Pin pad A, B
Fork material: Al203 and peek
W/T Type: 1+4 Edge grip
W/T Auto teaching
Furnace facilities:
Furnace exhaust connection point: Top connection
Cooling water connection point: Bottom connection
Gas specification:
IGS 1.5" W-seal rail-mount
FUJIKIN IGS
Tubing bend bend (Less than 90°)
HORIBA STEC
Incoming gas connection point: Bottom connection
Gas vent connection point: Bottom connection
Gas unit exhaust connection point: Bottom connection
Process gas exhaust connection point: Bottom connection
Exhaust specification:
MKS Vacuum gauge-press controller
MKS Vacuum gauge-press monitor
MKS Vacuum gauge-pump monitor
CKD-VEC Main valve
Condenser
Reactor specification:
Tube material: Quartz (outter), quartz (inner)
Inner tube Type (LP): Straight
Inner T/C: Outer tube inferior (wall type)
Tube sealing: O Ring
Soft backfill injector
Boat type: (117) Slots, pitch, 8 mm
Boat rotation
Pedestal type: Quartz
No shutter purge type
Interface specification:
Host communication: Comply with GJG
Equipment host I/F connection: Gas box top HSMS
Ingenio
OHT Capability
Load port operation: Upper
PIO I/F Location: FNC Top
HOKUYO DMS-HB1-Z PIO
RF Carrier ID reader writer type
CIDRW L/P: Read and write
ASYST ATR 9100 CIDRW
TEL CIDRW
User interface
Signal tower model: Customized
Signal tower colors (From the Top): Red / Green / Yellow
Signal tower location: Front
Front operation panel
MMI and gas flow chart: Gas box and front operation panel installed
Indicator type: Superset
Operator switch: Operator access / orange
Pressure display unit (gas inlet / vacuum): Mpa / Pa
Cabinet exhaust pressure display unit: Pa
Gas leak detector:
Gas1 / SiH4
Gas2 / PH3
Gas3 / ClF3
Cable length:
FNC-Power box: 20 meter
Power box -refill system: 30 meter
Power specification:
Voltage: 208 VAC, 3 Phase
Phase connection type: Star connection
Voltage single-phase: 120 VAC
Single-phase connection type: Grounded
Frequency: 60 Hz
Power cable input entrance location: Power box top
2009 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-Lは、半導体ウェーハ上に薄い酸化膜を作り出す屋内ウェーハエッチャー/アッシャーです。これは、高性能、ミディアムスループット、シングルチャンバードライエッチング装置です。ユーザーフレンドリーなプロセス制御と最適化をユーザーに提供するオペレータのインターフェースにより、システムは完全に自動化されています。TEL INDY B Lユニットは、CoO、 AlOx、 ITOなどの幅広い用途でエッチングとアッシングの両方を行うことができます。TOKYO ELECTRON INDY B-Lには、5層のクォーツチャンバー、調整可能な圧力パイプ、4つの独立制御ジェットN 2パージアウトレットがあります。圧力は制御棚の中の部品によって監視され、制御されます；センサーは部屋の外と中の両方の読書を送ります。エッチャー/アッシャー内のN2パージアウトレットとパラメータ設定により、残留フリーウェハ用の反応ガスの正確かつ完全な排気を可能にします。TEL Indy-B-Lは、最高温度400°Cまでの処理で200 mmから8インチまでのチャンバー最大サイズを備えています。高密度のECRプラズマはマグネクレオンによって生成され、個別に調整することができ、低負荷レベルと回転軸の優れたマッチング特性で高品質な結果を得ることができます。ECR源プラズマは、従来のアーク源よりも高いエッチング速度でアクティブ層エッチングの均一性と優れた選択性を提供します。INDY B-Lには、汚染度を示すために自動的に色を変化させる吸収フィルターも装備されています。この機能は、バッチ処理とシングルウェーハプロセスの両方で一貫した品質を維持するのに役立ちます。吸収剤は、エッチングまたはアッシング処理からダスト粒子を吸収して収集し、機械に侵入してウェーハを汚染することを防ぎます。TEL/TOKYO ELECTRON INDY B Lを搭載したプログラマブルなウェーハハンドリングロボットとトランスファーアームにより、バッチ処理とシングルウェーハ処理が可能です。また、1台のオペレータに簡単で安全なウェハハンドリングを提供します。さらに、ウェーハ検出レーザーツールがあり、ウェーハを移動およびエッチングする際にロボットがキャリブレーションされたままで最適な位置に到達することを確認します。TEL INDY B-Lは、ECRプラズマ源と精密なオーブン設定により、均一性の低いエラー、優れたプロセス制御、および低メンテナンスコストの再現可能なエッチング/配線を提供します。シンプルで直感的なユーザーインターフェイス制御とアラート機能を備えた信頼性の高い資産であり、バッチおよびシングルウェーハ処理アプリケーションに最適です。
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