中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #293637434 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
ID: 293637434
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2007
LPCVD Furnace, 12"
Wafer type: Si semi STD Notch
(100) Production wafers
Maximum operating temperature: 500-1000
N2 Load lock
Boat type handling position
O2 Density control for N2 Load lock
N2 Boat shower wafer cooling
560A Furnace temperature controller
VMM-56-002 Heater
Wafer / Carrier handling:
(25) Carrier type: FOUP
ENTEGRIS A300
Carrier stage capacity: 16
Pin pad A, B
Fork material: Al203 and peek
With type: 1+4 Edge grip
With auto teaching
Furnace facilities:
Furnace exhaust connection point: Top connection
Cooling water connection point: Bottom connection
Gas specification:
IGS 1.5" W-seal rail-mount
FUJIKIN IGS
Tubing bend bend (Less than 90°)
HORIBA STEC
Incoming gas connection point: Bottom connection
Gas vent connection point: Bottom connection
Gas unit exhaust connection point: Bottom connection
Process gas exhaust connection point: Bottom connection
Exhaust specification:
MKS Vacuum gauge-press controller
MKS Vacuum gauge-press monitor
MKS Vacuum gauge-pump monitor
CKD-VEC Main valve
Condenser
Reactor specification:
Tube material: Quartz (outter), quartz (inner)
Inner tube type (LP): Straight
Inner T/C: Outer tube inferior (wall type)
Tube sealing: O Ring
Soft backfill injector
Boat type: (117) Slots, pitch, 8 mm
Boat rotation
Pedestal type: Quartz
No shutter purge type
Interface specification:
Host communication: Comply with GJG
Equipment host I/F Connection: Gas box top HSMS
Ingenio
OHT Capability
Load port operation: Upper
PIO I/F Location: FNC Top
HOKUYO DMS-HB1-Z PIO
RF Carrier ID Reader writer type
CIDRW L/P: Read and write
ASYST ATR 9100 CIDRW
TEL CIDRW
User interface
Signal tower model: Customized
Signal tower colors (From the top): Red / Green / Yellow
Signal tower location: Front
Front operation panel
MMI and gas flow chart: Gas box and front operation panel installed
Indicator type: Superset
Operator switch: Operator access / orange
Pressure display unit (Gas inlet / vacuum): Mpa / Pa
Cabinet exhaust pressure display unit: Pa
Gas leak detector:
Gas1 / SiH4
Gas2 / PH3
Gas3 / ClF3
Cable length:
FNC-Power box: 20 meter
Power box -refill system: 30 meter
Power specification:
Voltage: 208 VAC, 3 Phase
Phase connection type: Star connection
Voltage single-phase: 120 VAC
Single-phase connection type: Grounded
Frequency: 60 Hz
Power cable input entrance location: Power box top
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-Lは、半導体および複合材料産業向けに設計されたエッチャー/アッシャーです。最高級の材料を製造するために使用される高度で信頼性の高い、高精度のエッチング/アッシング装置です。TEL INDY B Lエッチャーは、プリクリーニング、脱ガス、アッシング、エッチング、エッチング/ヒーリングなどのさまざまな機能を実行できるプログラマブルステージシステムを備えています。プレクリーニングステージは基板から汚染物質を除去するために使用され、脱気ステージは不要なガス分子を除去します。アッシング工程は表面原子を除去し、エッチング工程は基板から繊細で硬い層を除去します。エッチング/ヒーリングステージは、基板の残留応力を低減するために使用されます。エッチャーは、高度なAIベースのスマートクーリングユニット（SCS）を使用して、精密なエッチングに最適な温度を維持します。TOKYO ELECTRON INDY B-Lは、ディープエッチング、ポストエッチング、低温エッチングなど、幅広い特殊エッチング機能を提供します。また、10ナノメートルの小型部品の精密な表面変更も可能で、MEMやLSIデバイスなどのハイエンド用途に最適です。エッチャーは完全に自動化されており、シンプルなタッチパネルインターフェイスを介して操作することができます。東京エレクトロンINDY B Lは、オペレータとその周辺環境を保護するための包括的な安全機能も提供しています。VLDS （Vacuum Leak Detection Tool）を搭載し、漏れの可能性を特定します。また、標準化されたガス供給資産（SGSS）も備えており、安全条件が許せばガスはモデルを通じてのみ供給されます。最後に、革新的な環境に優しい冷却装置（KIECS）は、運転中の一時停止時にガス消費を自動的に削減することによってエネルギーを節約します。全体として、Indy-B-Lは半導体および複合材料産業におけるハイエンド用途向けに設計された洗練されたエッチャー/アッシャーです。SCS、 VLDS、 SGSS、 KIECSなどの高度な機能を備え、ナノメートルスケールまで精密エッチングを提供します。その安全機能により、最適な安全条件と洗練されたタッチパネルインターフェイスにより、操作が簡単になります。
まだレビューはありません