中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A #9355273 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-Aは、半導体製造装置のアッシャー/エッチャー装置です。これは、低温プロセスウィンドウで、優れたプラズマエッチングと洗浄機能を提供します。TEL Indy-Aシステムは、300iと500iの2つのモデルで提供され、300mmと500mmの基板の処理が可能です。どちらのモデルもCCDとX-Yスキャナを内蔵しており、正確な基板位置決めを行うことでエッチングを効率的に行うことができます。TOKYO ELECTRON INDYインプラントのドーピングにも優れた埋め込み能力を備えています。低濃度基板の埋め込み用の低電圧動作を実現しています。このマシンは独立したプロセスアームを備えており、シングルウエハランまたはマルチウエハランを処理することができ、1時間あたり最大18+ウエハーの最適な効率を実現します。TEL INDYツールはPECVDとICPに対応しており、室内清潔性に優れています。タッチセンシング/ポジショニングメカニズムと、低温および高温の両方のプロセスを可能にするプラズマエッチング用のChameleon 12 PECVDアセットを利用しています。このモデルは、あらゆるサイズのウェーハを高速かつ正確にエッチングするために設計されています。Indy-A機器は汎用性が高く、柔軟性とカスタマイズが可能です。熱モニタリング、Webアシスト、基板マッピングなど、システムのパフォーマンスを向上させる「スマート」機能を提供します。このユニットは、低圧および高圧のオプションだけでなく、真空および空気ベースの動作モードも提供します。このマシンには、リアルタイムのプロセス制御を提供する統合ソフトウェアが含まれています。このツールには、レシピ作成ユーティリティや自動診断などのプロセス開発ツールも含まれています。TEL/TOKYO ELECTRON INDY Aは、効率的なオンデマンド生産のために設計された、低コストで完全に自動化された操作を特徴としています。さらに、INDY AはRoHSに準拠しており、半導体生産の有害な環境負荷を低減するように設計されています。TOKYO ELECTRON INDY-Aは、高度なアッシャー/エッチャー資産であり、シングルウェーハおよびマルチウェーハの高精度な処理と優れたプロセス能力を提供します。TEL/TOKYO ELECTRON Indy-Aは、低コストでフレキシブルな部品で高い性能を発揮し、環境負荷を最小限に抑えた精密エッチングを実現します。