中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A #9302270 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-Aは、高信頼性の精密エッチングおよびアッシング用に設計されたエッチャー/アッシャー装置です。このシステムは、金属、合金、非金属、シリコンウェーハなど、あらゆる種類の基板に完全なエッチングおよびアッシュ機能を提供します。TEL Indy-Aは、プログラマブルロジックコントローラ（PLC）ユニットによって駆動され、最適なエッチングとアッシングの結果を保証します。エッチングチャンバー、エッチングノズル、シャワーヘッド、排気管など、いくつかのコンポーネントで構成されています。TOKYO ELECTRON INDY Aのエッチングチャンバーは、基板に均一なエッチング活性を提供するように設計されています。プラズマエッチング用の窒素/酸素混合物など、幅広いプロセスガスの組み合わせが可能なガス源を備えています。さらに、高電圧源を組み込んで所望のレベルに調整できるプラズマを生成します。エッチングノズルはエッチングチャンバーの背面に配置されており、エッチングプロセスを加速するための均一な高圧ガスの流れを提供します。ガスの流れはノズルのセレクターを使用して調節可能で、エッチング部屋の端壁の異なった区域に指示することができます。TEL/TOKYO ELECTRON INDYエッチングチャンバーにもシャワーヘッドが内蔵されており、特殊なコーティングやクリーニングが可能です。エッチングノズルとシャワーヘッドを組み合わせ、均一なエッチングとアッシングを行います。また、エッチングチャンバーの上部にエキゾーストパイプを接続して有毒な発煙を排出します。TOKYO ELECTRON Indy-Aはパワフルで信頼性の高いエッチャー/アッシャーツールです。プログラマブルロジックコントローラ（PLC）アセットにより、エッチングとアッシュの正確なプロセスを実現し、エラーを排除します。さらに、時間と材料の無駄を最小限に抑え、高品質のエッチングと灰の結果を提供するように設計されています。各種基板の高精度エッチング・アッシングに最適です。