中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A #9284835 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A
ID: 9284835
ウェーハサイズ: 12"
Vertical diffusion furnace, 12".
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-Aは、様々な工業生産ラインでの使用を想定した自動電気化学エッチング・成膜装置です。このシステムは、さまざまな電気めっき、エッチング、蒸着プロセスを一貫して正確に提供することができます。生産ライン上のさまざまな部品に特注のプロセスを提供することができ、均一な蒸着厚と品質を実現します。TEL Indy-Aプラットフォームは、ユーザーがさまざまなパラメータにアクセスし、コンポーネントと所望のプロセスに合わせて設定を調整できるマイクロプロセッサを搭載しています。このユニットは、シンプルで直感的なユーザーインターフェイスを備えており、目的の結果を達成するために最適化されたカスタマイズと制御を提供します。自動化されたプロセスをサポートし、オペレータは最小限の労力でスループットを高速化しながら、高いレベルの精度と信頼性を実現します。TOKYO ELECTRON INDY高出力のX-Y-Z電動ステージとウェーハクランプ力により、非常に精密な電気めっきおよびエッチング処理が可能です。この機能の組み合わせにより、TEL/TOKYO ELECTRON INDY Aツールは非常に安定した再現性のあるプロセスを実現し、エッチング速度制御に優れ、広範囲にわたって均一な厚さの結果が得られます。また、東京エレクトロンIndy -Aアセットには、エッチング/めっきプロセスの化学変化を専門的にプロファイリングおよびモニタリングするための電気化学インピーダンス分光装置(EIS)を搭載しています。Indy-Aモデルのカスタムエディションは、さまざまなツールヘッドの組み合わせ、ウェハサイズのサポート、基板加熱および温度制御、および最高レベルの安全性を確保するための組み込みの安全パラメータを備えた高度な構成が可能です。さらに、INDY A装置は、カスタマイズ可能な設定でワンステップとマルチステッププロセスの両方をサポートし、オーバコート成膜、ウェットエッチング開発、さらには校正および是正措置のためのソフトウェアもサポートします。結論として、TEL INDY Aシステムは、さまざまな産業生産ライン向けの効率的で信頼性の高い自動エッチング/めっきソリューションであるように設計されています。ユーザーフレンドリーなUI、精密な電動ステージ、ウェーハクランプ力、およびカスタマイズ可能なツールヘッドとソフトウェアオプションにより、このエッチャー/アッシャーは非常に構成可能で、ほぼすべての生産ニーズに適しています。
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