中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A #9214145 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON INDY-Aは、半導体ウェーハの精密・効率的・信頼性の高い加工を目的としたエッチャー/アッシャーです。高精度で再現性に優れたTEL Indy-Aエッチャーは、幅広い先進生産アプリケーションでの使用に最適です。最先端のツールは、コーナー間エッジ定義、エッジ追跡および検出機能、および高スループットプラズマエッチング技術を備えた高度なプロセス制御技術を備えています。TOKYO ELECTRON INDY Aはロードロック交換を自動化し、汚染を最小限に抑え、スループットを向上させました。さらに、その低kVプロセスウィンドウは、エッチング速度が速く、エピタキシャル層エッチング速度が向上します。TOKYO ELECTRON INDY-Aは、シリコン（LOCOS）プロセスの局所酸化を利用して、薄く均一な断熱層を選択的にエッチングすることができます。この選択的エッチング技術は、高精度で高精度な電子回路を製造するために不可欠です。LOCOSプロセスは、高度な酸化制御技術（ACT）、高度なエッジ定義機能、コーナー保護、カスタマイズ可能なソフトウェアレシピなど、さまざまな機能でサポートされています。高度な自動化の利点により、INDY Aはウェーハを迅速かつ正確にエッチングし、クリーニングする機能を備えており、比類のない効率と結果の均一性を備えています。TEL/TOKYO ELECTRON INDY Aは非常に正確で均一で、ウェーハ表面全体で5％以上の再現性があります。多種多様なプロセス能力を提供し、優れた結果をもたらします。Indy-Aには、高度なWeb特性評価システム（WCS）があり、お客様が複数の処理レシピを簡単に管理できるため、歩留まりが向上し、プロセス効率が向上します。さらに、TEL INDY Aには高度なプロセス監視、制御、フィードバック機能が搭載されており、リアルタイムでユーザーにフィードバックデータを提供します。この情報により、オペレータはプロセスをリアルタイムで調整し、最終製品が最高レベルの品質基準を満たしていることを保証します。