中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A #293591336 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-Aは、半導体製造のフォトリソグラフィ段階で活用されているエッチング装置です。具体的には、TEL Indy-Aを使用して、表面の一部をエッチングすることで、詳細なパターンを基材に転送します。TOKYO ELECTRON INDY AはTEL R&D東京からアクセス可能です。エッチング装置は、小さなフォームファクタで効率的で長期的な生産能力を提供します。これにより、スペースが限られた半導体製造店に最適なソリューションとなります。このユニットは、6インチ、8インチ、12インチのウェーハなど、さまざまな基板にも対応しています。この汎用性により、マルチレベルの相互接続、フォトマスク、MEMS、その他の複雑な微細加工プロセスなどのアプリケーションをより正確に完了できます。TEL INDY Aは、より複雑なパターンのエッチングを可能にするドライエッチング（DE）技術を使用しています。このプロセスは、化学蒸着（CVD）および化学機械研磨（CMP）による前処理を利用して、エッチング前に基板を準備して形成します。これらの前処理および後処理プロセスは、接着、平面化および表面仕上げを改善します。Indy-Aの中心には、連続したレイヤーを素早く正確にエッチング（スクラブ）する機能があります。エッチング処理は、バイアス電圧を使用して加速され、制御された再現可能な方法でエッチング速度を最大化します。これにより、各ウェーハは毎回均一で予測可能な機能でエッチングされます。INDY Aには、ガス供給ボタン、タンクリーク検出器、圧力レギュレータ、エアロックセンサーなどの高度な安全機能も搭載されています。これらの機能により、すべての排水が安全に含まれ、汚染が最小限に抑えられます。TEL/TOKYO ELECTRON INDY TEL/TOKYO ELECTRON INDY Aは、現在の最先端技術に加え、歴史的プロセスの精度と再現性を両立させた、信頼性の高い高品質エッチング機です。これは、生産効率を拡大するために探している任意の半導体製造会社のための完璧なツールです。