中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A #293591335 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON INDY-Aは、最先端の半導体技術アプリケーションの要件を満たすように設計された高性能エッチャー/アッシャー装置です。このシステムのカスタマイズ可能なプラットフォームは、主にドライエッチング、ドライアッシング、ウェットクリーニングからなる一連のプロセス機能を提供します。銅メタライゼーションの中間エッチング、ライン加工のバックエンド、高度なパッケージングなど、幅広い用途に最適です。TEL Indy-Aユニットは、気候制御されたメインチャンバーを備えたダウンストリームタイプのエッチング構成を採用し、一貫したプロセス条件を確保します。RF、 DC、パルスなど、さまざまな電源オプションで設計されており、さまざまなパラメータのプロセス要件を満たすことができます。また、レシピの最適化とプロセスの実装に高度な柔軟性を提供します。TOKYO ELECTRON INDY Aは、メインチャンバー側から展開可能なマルチガスソースを装備し、可変フロー、複数のリモートカプセル、マニホールド選択などのカスタムガス配送オプションを提供します。この組み合わせにより、比類のない一貫性と再現性を備えた高解像度エッチングプロセスが実現します。TEL INDY Aには、高度なプロセスモニタリング機能と安全機能が搭載されており、最適化されたプロファイルに沿った動作を保証します。これには、高度な反転プロセス構成が含まれており、オブザーバはプラズマ生成メカニズムを迅速に診断し、エッチャー室で発生する可能性のある問題を迅速かつ正確に診断することができます。さらに、最新のリアルタイムセンサーフィードバック制御機構を備え、エッチング速度、酸素濃度、温度などのエッチング制御パラメータを高精度に監視します。Indy-Aは、製品製造の柔軟性、精度、スピードを向上させるためのオートメーションオプションを提供します。このツールには特殊な洗浄アセットも装備されており、表面の清潔度を高めることができます。INDY Aは大量生産に最適で、ユーザーに優れた生産性と信頼性を提供します。