中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A-L #9411635 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-Lは、半導体基板の加工用に設計されたエッチャー/アッシャーです。幅広い用途での使用に適した機能を多数搭載しています。TEL Indy-A-Lは、最大エッチング速度8,000nm/minで0。3 μ mまで機能をエッチングできるRIE（リアクティブイオンエッチング）プロセスを備えています。このエッチングプロセスは、高精度な結果を得ることができ、シリコン、窒化ガリウム、酸素ドープ化シリコンなどのさまざまな材料をエッチングすることができます。また、アスペクト比を高める独自の「傾斜」エッチモードも備えています。東京エレクトロンIndy -A-Lには、オートフォーカス機器と強力なウエハバックサイドモニターを搭載したオンボードアドバンスドスキャナも搭載しています。ウエハ表面と裏面を高解像度で撮影できるため、エッチング工程を基板上のパターン化された層と正確にアライメントすることができます。Indy-A-Lは、さまざまな外部検査システムと統合することで、プロセスの精度と再現性をさらに向上させることができます。TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-Lは、エッチングサイクルやレシピの幅を広げることができる、ガス制御の柔軟性に優れた高流量ガス供給システムです。ガスデリバリーユニットは最大流量65 SCCMで、大型基板を素早く加工できます。また、ジェットフォワードモジュールは、ウェーハから外側と外側に強制的にガスがチャンバーに入るのを防ぎます。TEL Indy-A-Lは、プロセスパラメータの設定やレシピの変更が簡単に行える堅牢なユーザーインターフェイスを備えています。ユーザーインターフェイスは、レシピストレージとリコールだけでなく、エッチパラメータのリアルタイム監視も提供します。オンボードデータキャプチャおよび分析ツールは、データのトレーサビリティを提供し、オンボードSEM（走査型電子顕微鏡）画像およびCD（臨界寸法）グラフは、簡単なプロセスとパフォーマンス評価を可能にします。TOKYO ELECTRON Indy-A-Lは高度で汎用性の高いエッチャー/アッシャー機で、細部まで複雑なパターンを作成できます。そのパワフルで簡単に調整可能なエッチング機能により、幅広いアプリケーションや材料に適しています。また、機能豊富なユーザーインターフェイスと監視機能により、プロセスがよく理解され、厳密に制御されます。