中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A-L #9394967 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-Lエッチャーは、自動化され、完全に統合された薄膜成膜およびエッチング装置です。シリコンベースの半導体製品の製造に使用されるように設計されています。精密エッチング工程での均一性と再現性を提供します。これは、エッチングの品質と密度を向上させるために低温と真空環境を備えています。このユニットは、選択した基板温度と圧力で各エッチングプロセスを確実に配信するために、自動チャック圧力レギュレータで構築されています。また、エッチングプロセス中の真空が一定であることを確認するためにダイヤフラムポンプが装備されています。これは、回路基板の整合性を確保し、エンドユーザーのエクスペリエンスを向上させるのに役立ちます。TEL Indy-A-Lエッチャーは、エッチング時のエッチング速度を向上させ、平衡圧力を維持する大気圧制御機を備えています。これは、加工中に基材やエッチングを損傷する可能性を低減するのに役立ちます。さらに、アクティブなドリフト補正、動的熱調整、インテリジェントな圧力と速度制御を備えており、エッチングプロセスの精度を最適化および向上させるのに役立ちます。TOKYO ELECTRON Indy-A-Lエッチャーには、エッチングパターンを選択するための革新的なダイレクトイメージングセレクター（DIS）が搭載されています。また、TEL Industrial Solutions Manager （ISM）などのプロセス制御システムと統合するように設計されています。これは、エッチングプロセスをリアルタイムで監視し、望ましい結果を確実に達成するのに役立ちます。また、ウエハハンドラユニット、気象シール、RFシーラーなど、さまざまなオプション部品も備えています。これらのコンポーネントはすべて、ツールの柔軟性を高め、より多くのアプリケーションに使用できるようにします。結論として、Indy-A-Lエッチャーは、優れた精度、再現性、信頼性を備えた完全に統合された薄膜成膜およびエッチング資産です。革新的なダイレクトイメージングセレクター（DIS）と大気圧制御システムを搭載しており、エッチング工程の精度と有効性を高めています。オプションのコンポーネントにより、さらに柔軟性が向上し、幅広いアプリケーションにモデルを使用できるようになります。