中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A-L #293643316 を販売中

ID: 293643316
ヴィンテージ: 2006
Vertical furnace 2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-Lは、エッチャーまたはアッシャーとしても知られ、高品質のマイクロエレクトロニクスデバイス部品を製造するために設計された先進的なエッチング装置です。このシステムは、高度な機能と機能を備えた包括的なエッチング加工ユニットで、厳密に制御されたプロセスパラメータと高レベルの製造結果を保証します。TEL Indy-A-Lマシンにはモジュラーアーキテクチャがあり、ユーザーは特定のアプリケーションの要件に合わせてツールを簡単に設定できます。自動クォーツローディング機構を備えた2つの独立したクォーツウェアチャンバーが付属しているため、ユーザーはウェーハを迅速かつ効率的にロードおよびアンロードできます。チャンバーには、最適かつ再現性のあるプロセス結果を得るために、ウェーハを1つのチャンバから別のチャンバに自動的に移動する「プラテン自動ローディング」メカニズムが搭載されています。アセットには不活性な大気発生器も含まれており、エッチング処理のための安全でクリーンな環境を保証します。TOKYO ELECTRON Indy-A-Lは、さまざまな種類のプラズマとRIEソースで構成することも、複数のソースと組み合わせることもできます。Indy-A-Lは、エッチングプロセスを監視および制御するEtch-NetTM Suiteを使用して、プロセスパラメータの自動化とデータ取得もサポートします。このソフトウェアを使用すると、プロセス速度、温度、圧力、その他のパラメータを制御しながら、リアルタイムのデータ収集とロギングを提供できます。TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-Lは、3点式スマートコントロールモデルを搭載しており、マウスをワンクリックするだけでプロセスのパワー、エッチング率、均一性を制御することができます。TEL Indy-A-Lは、高度なエッチング技術により、ハイテクデバイスの製造を保証します。この装置は、細かく調整された反復可能なプロセス結果と効率的なウェーハのローディングとアンロードをユーザーに提供します。TOKYO ELECTRON Indy-A-Lは、プロセスオートメーションと制御だけでなく、リアルタイムデータの収集とロギングも提供しており、ユーザーがエッチング処理をより大きな制御を行うことができます。Indy-A-Lは、最高レベルのエッチング結果とデバイス製造をユーザーに提供する効率的なエッチングシステムです。
まだレビューはありません