中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A-L #293643266 を販売中

ID: 293643266
ヴィンテージ: 2007
Vertical furnace 2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-Lは、半導体デバイス製造用に設計された高度なエッチング/アッシング装置です。業界をリードするエッチングソリューションプロバイダーの1つであるTEL Indy-A-Lは、今日の半導体製造プロセスのニーズに応える優れた信頼性、性能、革新的な技術を提供しています。TOKYO ELECTRON Indy-A-Lシステムは、全自動、高解像度、マルチステップエッチングプロセスを組み込み、効率的かつ正確な操作を促進します。Indy-A-Lユニットは、フォトレジストや誘電体層を含むさまざまな材料をエッチングすることができ、個々のプロセスに必要な正確なパラメータに対応するために簡単にプログラムすることができます。TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-Lマシンは、高解像度制御機能を備えた独自のプラズマツールを使用し、最適なエッチング結果を保証します。このアセットは、ディープエッチングに最大8段階を使用し、精密かつ均一な結果を得ることができます。また、運用コストを削減し、最適なエッチング効率を提供するように設計された低コスト、低メンテナンスプラズマ源を組み込んでいます。TEL Indy-A-Lモデルは、自動化されたレシピ管理、機器診断、高度なレシピの読み込みと回復を備えた、正確さと信頼性を念頭に置いて設計されています。さらに、システムはモジュール式で柔軟性があるように設計されており、必要に応じて簡単なアップグレードとカスタマイズが可能です。TOKYO ELECTRON Indy-A-Lユニットには、使いやすいパターン補間、ステップ補間、エラー復旧など、レシピ管理と柔軟性のための高度なソフトウェアが付属しています。このソフトウェアを使用すると、ユーザーはマシンを簡単に設定して特定のプロセス要件を満たすことができます。標準的なウェットエッチング、ドライエッチング、メッキ、レジスト薄型化、アニーリングなど、インディ-A-Lでは印象的なプロセスオプションがサポートされています。また、接触エッチング、ディープリアクティブイオンエッチング、ディープウェットエッチングなどのプロセスに合わせて調整することができ、複雑な加工プロセスに最適なソリューションです。TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-Lは、半導体デバイス製造におけるエッチングおよびアッシング用途に優れた性能を提供する、強力で信頼性の高い資産です。TEL Indy-A-Lは、高性能で先進的な機能により、製造プロセス全体に効率と信頼性をもたらすリーディングエッチングソリューションです。
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