中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A-L #293643265 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-Lは、革新的な半導体デバイス・エッチャー/アッシャーです。このオールインワン装置は、エッチングとアッシング機能を1つのコンパクトなユニットにまとめました。コンパクトサイズのTEL Indy-A-Lは、精密制御、優れたシステムパフォーマンス、堅牢な安全機能を備えています。TOKYO ELECTRON Indy-A-Lは、熱酸化物エッチング、酸化パターンエッチング、酸化マスクストリッピング、アニール、焼結、リフローをサポートします。それは6インチまでのサイズの3組の基質を収容できます。さらに、高度なプロセス制御機能により、エッチングとアッシングのパフォーマンスを最適化できます。Indy-A-Lは、大規模でユーザーフレンドリーなタッチスクリーンと簡単なプロセスナビゲーションを備えた強力なWindowsベースのHMIソフトウェアで動作します。また、自動化された統合されたプロセス制御とレシピ管理機能により、シンプルで一貫した操作が可能です。その直感的なメニューユニットは、エッチングとアッシングのすべてのプロセスを完全に制御します。TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-Lは、安全性にも優れています。内蔵の安全機械により、プロセス条件の安定性を監視し、危険なプロセス問題を防止できます。その複数の安全インターロックは、さらにツールの近くに人員や機械を保護します。全体的に、TEL Indy-A-Lは、コンパクトでユーザーフレンドリーなパッケージで堅牢なエッチングとアッシングソリューションを提供します。高度なハードウェア、HMIソフトウェア、堅牢な安全機能により、半導体デバイスの製造および基板エッチング/アッシングソリューションに最適です。