中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A-L #293643254 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-Lエッチャー/アッシャーは、シリコンウェーハから不要な酸化物やポリシリコン層を除去する半導体製造工程の専用デバイスです。このプロセスにより、トランジスタやその他の半導体デバイスの製造が可能になります。TEL Indy-A-Lマシンは、少量のウェハスケールで高効率なRIE（リアクティブイオンエッチング）とアッシングを行う設計です。多周波RF（無線周波数）ジェネレータを搭載し、最大150mmのウェハサイズの効率的な処理を実現します。RIEプロセスは、ウェーハ表面の原子を分解し、イオン化プラズマプルームを生成することにより、ウェーハから不要な物質層を除去し、損傷を最小限に抑えて表面を迅速かつ正確に除去します。Indy-A-Lは、独立した発熱素子を備えたマルチチャンバー設計を採用しており、異なる処理温度と化学物質比を必要とするウエハを最適に加工することができます。さらに、加速ケミカルアッシングプロセスと統合されたドライエッチガスデリバリーシステムを備えており、さまざまな角度のエッチング角度と結果として生じる深さを実現します。さらに、Indy-A-Lは、最適な結果を得るためにRF周波数とエネルギーを自動的に調整するスマートなオートマッチング機能を備えています。また、多段プラズマ深度制御を備えており、1回の操作で複数のエッチング処理を精密に完了させることができます。バックサイドイオンソース機能を備えており、バックサイドコーティングの取り外しやエッチングに使用できます。これらの機能により、さまざまな半導体アプリケーションで高効率で信頼性の高いエッチングプロセスが実現します。全体として、TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-Lエッチャー/アッシャーは、半導体デバイス構造を製造するための信頼性が高く、効率的で正確なデバイスです。