中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A-L #293622226 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-Lは、半導体デバイス製造に使用される先進エッチング装置です。この洗練されたシステムは、さまざまな材料を迅速に、効果的に、そして最小限の汚染物質でエッチングするように設計されています。TEL Indy-A-Lは、プラズマ、リアクティブイオンエッチング（RIE）、物理蒸着（PVD）などの3段階のエッチング処理を特徴としています。最初の段階では、材料は高エネルギーのプラズマにさらされます。これにより、イオンはその表面にエッチングされた微細なパターンを残して、材料を貫通することができます。第2段階のRIEは、異なるガスが材料と相互作用し、より複雑なエッチングをもたらします。第3段階では、PVDは所定の領域に材料を追加し、より高いレベルの制御とカスタマイズを可能にします。この汎用性により、東京エレクトロンIndy -A-Lは、さまざまな高度なパッケージングおよびMEMS （Micro-Electro-Mechanical Systems）プロセスに適しています。それは非常に小さいフットプリントを持っています-そのサイズはちょうど75 cm x 105 cm（幅x奥行き）です-それは既存の生産ラインの指定された領域に収まることができます。このユニットはまた、低熱予算設計を採用しており、動作中の温度は低く保たれています。Indy-A-Lには専用のEdge Tollerance Control （ETC）マシンが搭載されており、部品の端に精密なエッチングが可能です。このツールには、上腕ロボットアームガードとイオンビーム源も装備されています。最後に、TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-Lは、SEM （Scanning Electron Microscope）やXPS （X-ray Photoelectron Spectroscopy）などの様々な分析ツールと互換性があります。これにより、材料にエッチングされた特徴を簡単かつ正確に測定することができます。要するに、TEL Indy-A-Lは、半導体デバイス製造業界での使用に適したさまざまな機能を備えた洗練されたエッチング資産です。その汎用性の高い設計、小さなフットプリント、高度な分析ツールは、高精度で高品質のコンポーネントを生産しようとしている企業にとって非常に貴重なツールです。
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