中古 TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A-L #293587758 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-Lは、基板エッチング、リフトオフ、メタライゼーション用途に使用されるエッチャーまたはアッシャーです。TEL Indy-A-Lは、高度なハイスループット低温エッチング技術に基づいています。この技術により、ハイエッチングの選択性、優れたアスペクト比、接着強度の向上、および従来の多くのエッチング技術と比較して均一なレイヤカバレッジが可能になります。東京エレクトロンIndy -A-Lは、高解像度CCDカメラ、ターボ真空ポンプ、最適な制御可能な処理条件を提供するプラズマイオン源などの先進的な光学系を搭載しています。この光学系とソースの組み合わせにより、エッチングおよび/またはメタライゼーションタスクのプロセス制御と可変性が向上します。Indy-A-Lは8 「x 6」までのサイズの基質を処理できます、それを大きいのために理想的にさせます、多点の製作の適用。このシステムは、銅、金、アルミニウム、チタン、その他多くの金属などの幅広い材料を処理することができます。TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A-Lは、超低温チャンバーを備えた高効率設計により、温度に重要なエッチングおよび金属化プロセスを最適化します。さらに、スピンコーティング、スプレーコーティング、無電解めっきなど、さまざまなリフティングおよびコーティング技術を提供するマルチセグメントのサセプターを装備しています。TEL Indy-A-Lには、自動ウェットベンチや燃焼室など、いくつかの安全機能が搭載されています。TOKYO ELECTRON Indy-A-Lアドバンスエッチャー/アッシャーにより、入力と構成を最小限に抑えた高度なエッチング機能をお楽しみいただけます。表面処理とメタライゼーション機能により、半導体デバイスの製造、MEMS製造、LED製造、さらに高度なプロセスなど、さまざまな作業において層カバレッジと均一性が向上します。その汎用性と正確なプロセス制御により、さまざまな産業用途に最適なソリューションです。