中古 TEL / TOKYO ELECTRON HT910 #293621624 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON HT910は、高精度エッチングおよびアッシング用に設計されたハイスループットエッチャー/アッシャーです。TEL HT910は、エッチング用とアッシング用に最大500Wの200Wで動作し、真空チャンバーは48リットルで、より大きな基板を処理することができます。TOKYO ELECTRON HT910のプロセスガスミキサーは、特定の範囲内で最大4つのガスを正確に制御することができ、複数のユニットを購入する必要がなくなります。HT910のセットアップも簡単です。ユーザーインターフェイスにより、プロセスパラメータ、温度監視、大気制御などのエッチングおよびアッシングプロセスを完全に制御できます。TEL/TOKYO ELECTRON HT910は、手動洗浄を不要とする自動洗浄機能を搭載しています。この機能は、チャンバー寿命を延ばし、洗浄に伴うヒューマンエラーを排除することで、プロセスの信頼性を向上させます。TEL HT910には、クリーンエア法の排出要件を満たすことができる低排気純度を実現する中間圧削除装置もあります。TOKYO ELECTRON HT910は、エッチングとアッシングの再現性と信頼性に優れています。平行光波放射を使用して、エッチング工程の均一性を確保します。HT910はまた、同様の結果でさまざまな厚さの基板を処理することができます。これにより、産業環境に最適です。安全面では、TEL/TOKYO ELECTRON HT910は、ガスパージングユニット、排気フード、クローズドループガスセンサなど、さまざまな安全機能を備えています。クローズドループガスセンサーツールは、有害なガスを検出し、排気フードを作動させてさらなる保護を行います。これにより、処理中のユーザーと基板の両方にとって環境が安全であることが保証されます。TEL HT910エッチャー/アッシャーは、基板の高精度エッチングおよびアッシング用に設計されています。大型基板加工用の大型真空チャンバーを備えた高いスループット容量と、プロセスの信頼性を向上させる自動洗浄機能を備えています。TOKYO ELECTRON HT910はまた、優れた再現性と信頼性の高い結果を提供し、安全機能の範囲を提供します。