中古 TEL / TOKYO ELECTRON HT-800-R4 #9285739 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON HT-800-R4は、半導体部品の大量製造用に設計された高精度・高スループットエッチング・加工機です。この機械には2つのプロセスチャンバーと、エッチング/デポジショニングおよびウェーハ処理用のロボットアームがあります。プロセスチャンバーには、電子ビーム蒸着、高密度プラズマエッチング、イオン注入、ケミカルプラズマ蒸着、スパッタリングなど、独自の機能を備えた多種多様なエッチング/加工チャンバが装備されています。ロボットアームをプロセスチャンバー内でのウェーハ移動に対応できるため、大容量・大容量の処理に効率的です。このマシンは可変スループットを備えており、1時間に最大50個のウェーハを処理できます。3層モニターシステムを使用して、プロセスチャンバー内の温度と圧力、および蒸着/エッチング速度を監視し、正確で一貫した結果を保証します。さらに、注入されたガスを最適化する光冷却システムを備えています。機械は500ワットまで提供できる電源によって動力を与えられます。さらに、GUIユーザーインターフェイスと強化されたプログラム命令により、ソフトウェアの複雑さを軽減するように設計されています。TEL HT-800-R4エッチャー/アッシャーは、高精度、高スループットのプロセス向けに構築されており、メンテナンスコストが低く、ダウンタイムが最小限に抑えられています。堅牢な全体的な設計により、半導体製造の幅広い用途に適しており、柔軟性があり、大量生産に優れています。