中古 TEL / TOKYO ELECTRON HT-800-P2 #9285736 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON HT-800-P2は、さまざまなウエハ加工ニーズに適した高精度インラインエッチャー/アッシャー装置です。低圧エッチングチャンバーを採用し、高精度かつ再現性のある大面積の基板に極めて均一なエッチング・アッシングが可能です。TEL HT-800-P2ユニットは、エッチングとアッシングの両方に対応する高出力ECRプラズマ源を、同じチャンバー内に内蔵されたバルブを介して複数の排気不活性ガスと統合します。統合された乾式真空ポンプは、化学ガスの迅速な排気を可能にします。エッチャー/アッシャーマシンは、ウェーハ裏面洗浄、エッチング、アニール、フィルムアッシングなど、幅広い用途で正確なプロセスを提供します。このツールはまた、超低真空プロセスと低圧プロセスの両方を含む10mTから1000mTまでの幅広い作業圧力範囲を備えており、広範なエッチングとアッシングプロセスを可能にします。また、ハイパワーソースを内蔵しているため、基板電圧を精密に制御することができ、各種基板タイプのエッチング精度の高いエッチングが可能です。このアセットには、正確で繰り返し可能なウェーハの位置決めと取り外しのための高性能な基板チャックも備えています。TOKYO ELECTRON HT-800-P2モデルは、多彩なプロセス機能に加え、安全性とパフォーマンスを最適化するための高度なセーフガードも備えています。統合されたデュアルゾーン安全インターロック装置は、故障状態をすばやく検出し、そのような状態が発生した場合、冷却動作中を含むプラズマ源を遮断します。信頼できる急速な応答システムは緊急事態の間の安全な操作を保障し、最適の状態で単位を保つように設計されています。HT-800-P2エッチャー/アッシャーマシンは、多様な微細加工ニーズに対応する信頼性の高い汎用性の高い結果駆動プロセスツールです。精密なプロセス制御と効率的な安全ツールにより、最も厳しい条件下での最適なパフォーマンスと最高の信頼性を保証します。この資産は、プロセスの汎用性とコスト効率をさらに向上させるために、他のツールとの互換性も高くなっています。