中古 TEL / TOKYO ELECTRON HS-800-I #9285730 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON HS-800-I
ID: 9285730
Dry etchers Substrate size: 680 mm x 880 mm.
TEL/TOKYO ELECTRON HS-800-Iは、銅、タングステン、アルミニウム、金、ステンレスなどの薄膜建築材料をエッチングするために設計された先進的な半自動エッチャー/アッシャーです。エッチャーは優れたプロセス制御と高いスループットを提供します。高精度で一流のエッチング品質を提供します。エッチャーには、オペレータフレンドリーなディスプレイパネルが付属しており、すべてのプロセスパラメータに簡単にアクセスできます。さらに、エッチングや汚染を低減する自動洗浄機構を備えています。エッチャーには、小さな詳細なパターンや機能をエッチングするための高出力レーザーシステムも装備されています。これは、軸、放射状、XY平面の3つの異なる方向でエッチングすることができます。TEL HS-800-Iは、ガス混合エッチング技術を活用し、異なるガス混合物を混合してフィルム材料ごとにプロセスパラメータを最適化する機能を有しています。エッチャーはまた、精密なレーザー出力調整とプロセスチューニングを可能にする統合された電源を備えています。東京電子HS-800-Iも高精度集中光学と精密ステージモーション制御で設計されています。これにより、正確で再現性の高い位置決めが可能になり、手動の位置合わせとキャリブレーションの必要性を克服します。さらに、このユニットは動的温度制御を提供し、均一なエッチングプロファイルを維持するのに役立ちます。HS-800-Iは明確なオペレータ指示および自動化されたプロセス制御を提供する直観的なマンマシンインターフェイスが装備されています。直感的なコマンド、ディスプレイ、フィードバックにより、プロセスの初期化と操作が容易になります。さらに、このマシンには、過剰な高出力レーザー露出を防ぐための安全インターロックが装備されています。結論として、TEL/TOKYO ELECTRON HS-800-Iは、高精度で最高のエッチング品質を提供する先進的なセミオートエッチングです。それは強力なレーザー光学および高い洗練された動き制御、作動変数および動的温度調整が装備されています。TEL HS-800-Iは、薄膜建築材料をエッチングするための信頼性の高い高性能ツールであり、エンジニアやラボワーカーにとって理想的なツールです。
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