中古 TEL / TOKYO ELECTRON Formula #9412425 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Formula
ID: 9412425
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2009
Furnaces, 12" 2009 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Formula (TEF)は、精密材料除去や多種多様な材料のパターン作成に使用されるエッチャー/アッシャーです。TEFの背後にある技術は、イオンビームエッチングの原理に基づいています、マイクロストラクチャーやパターンを作成するために、基板から材料をアブレーションするために高エネルギーイオンビームの配列を使用します。TEFは様々なガス混合物を使用し、エッチング電圧とパワーを使用して材料を正確に除去します。TEFは、高解像度で複雑なパターンを生成するために使用することができ、汎用性と柔軟性の高い機器です。例えば、TEFは、非常に高い精度で数ナノメートルのサイズのフィンパターンを生成するために使用することができます。それはまた30mmまでのサイズの区域の異なった形そして幅のパターンを作成するのに使用することができます。上記の機能に加えて、TEFには、同じまたは異なるエッチングプロセスで複数のレイヤーをサポートする機能もあります。これは、ユーザーが1つの操作で相互接続できる異なる材料の複数の層を持つ複雑な構造を作成できることを意味します。さらに、TEFは金属、セラミックス、半導体など様々な材料をサポートしており、幅広い用途に適しています。また、TEFは、リアルタイムでエッチング処理を監視したり、条件の変化に応じてエッチングパラメータを変更したり、エッチング時間を高精度に制御する機能を備えています。また、ユーザーが簡単にエッチングレシピを設定し、結果を監視することができ、ユーザーフレンドリーなオペレーティングシステムを持っています。最後に、TEFは信頼性の高い堅牢なツールであり、さまざまなプロジェクトで一貫した結果を提供できます。その精度と柔軟性により、半導体製造、デバイス製造、マイクロエレクトロニクスなどの用途に特に適しています。また、プリント基板やMEMSデバイスなどの複雑なパターンを作成するための費用対効果の高い選択肢です。
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