中古 TEL / TOKYO ELECTRON Formula #9300652 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRONフォーミュラは、半導体業界で使用されるエッチャー/アッシャーの一種です。このエッチャー/アッシャーは、フォトリソグラフィおよびエッチング用途に最適です。この機械は、アルミニウム、シリコン、ポリシリコンなどのさまざまな材料をエッチングするために使用できます。また、より精密でクリーンなエッチング結果を得ることができるウェットエッチングチャンバーを装備しています。TELフォーミュラには、電子ビーム源だけでなく、化学蒸着、またはCVD、チャンバーが装備されています。電子ビーム源は材料を分解するために使用することができる電子のビームを提供する。これは、その精密で繊細な性質のために繊細なパターンをエッチングするときに特に便利です。CVDチャンバーは、材料を選択した基板に堆積させることができます。これは、半導体業界でデバイスを形成するために精密なレイヤーが必要な場合に便利です。東京電子フォーミュラは、デジタル制御装置（DCS）によって制御されています。このシステムにより、オペレータはクリーンエッチング結果を生成するために必要なパラメータをプログラミングできます。このようなパラメータには、ビーム電流レベル、ビームサイズ、電圧、露光時間、ガス圧力、流量、ガス組成などがあります。また、エッチング結果を評価するためにスキャン電子顕微鏡（SEM）を使用して、チャンバー環境を監視するのに役立ちます。数式は、さまざまなテストと制御を使用して最適な作動条件で維持されます。検査には、目視検査、電圧測定、射出試験、温度および真空チェックなどがあります。機械は次にそれが工場指定に従って作動していることを保障するために目盛りを付けられます。TEL/TOKYO ELECTRONフォーミュラは、半導体デバイス製造のための強力なエッチャー/アッシャーです。このツールによって提供される正確なエッチングおよび成膜機能により、高品質のデバイスを正確かつクリーンな結果で製造することができます。高度なデジタル制御資産と幅広いテストとチェックにより、最適な労働条件と一貫した結果がさらに保証されます。これにより、TELフォーミュラは、最も信頼性が高く効率的なエッチャー/アッシャーを提供します。