中古 TEL / TOKYO ELECTRON Formula #9287527 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRONフォーミュラ（またはエッチャー/アッシャー）は、半導体およびその他の関連産業で使用される工業グレード、量産、化学機械平面化機械です。それは堅牢で信頼性の高い機器であり、金属間障壁の層、誘電体、多層金属相互接続、透明導電膜、カーボンナノチューブなど、ほぼすべての材料の平面化を可能にします。TELフォーミュラエッチャー/アッシャーは、化学的機械的平坦化を使用しています。これを実現するために、高速化学反応を用いて表面層の薄くなった部分を除去・分解してレベルを落とします。TOKYO ELECTRONフォーミュラエッチャー/アッシャーは、幅広い機能と機能を備えた汎用性の高いユニットです。ロボットシステムと自動化されたメンテナンスプロセスを搭載し、複数の生産ラインを一度に稼働させることができます。このマシンは、標準的な平面化操作やルーチンプロセス監視から、より高いレベルの精度を達成するために必要な高度なアプリケーションまで、セットアップとプロセス用に構成することもできます。さらに、フォーミュラエッチャー/アッシャーは、さまざまな材料とエッチング化学製品をサポートしています。CFやイオンミリングなどのいくつかのプロセスを使用して、さまざまなアプリケーションで最適なプロファイル結果を達成するために必要なパラメータと化学物質を選択することができます。エッチング後の処理は、追加の表面変更が必要なアプリケーションでも使用できます。TEL/TOKYO ELECTRONフォーミュラエッチャー/アッシャーは、量産に最適な高度なツールです。その耐久性のある構造と高度な加工能力により、表面平面化から高度な誘電蒸着および不動態化まで、さまざまなアプリケーションに最適です。その包括的な制御と計装と組み合わせると、それは半導体と関連産業のための理想的なマシンです。