中古 TEL / TOKYO ELECTRON Formula #9287525 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRONフォーミュラは、TEL Ltd。によって作成および製造されたエッチャー/アッシャーです。特定の表面仕上げを必要とする各種材料の高精度エッチングに使用されます。薄膜成膜、誘電エッチング、化学機械研磨（CMP）など、さまざまな産業用途に必要な優れたエッチング精度と性能を提供します。TELフォーミュラは、特定の内面仕上げのチャンバーで構成されています。これは、化学エッチング工程における均一なガス拡散と最小限の壁の影響を提供するように設計されています。チャンバー内には、高出力の光源、基板ホルダー、ガス/化学噴射装置、排気システム、コントローラがあります。光源は基板を照らして所望のパターンを作成し、ガス/ケミカル注入ユニットはエッチング工程に必要な成分を提供します。エッチング工程で発生する発煙や粒子を取り除き、エッチング時に安全で清潔な環境を維持するための責任があります。コントローラは全体的なプロセスを調整し、正確なエッチングを保証するために光強度、空気圧、温度、その他の変数を監視します。TOKYO ELECTRONフォーミュラは、エッチング精度とスループットを高めることができるため、高精度エッチング用途に最適なツールです。コントローラは、さまざまな制御設定とパラメータを提供し、ユーザーが特定の要件に合わせてエッチングプロセスをカスタマイズすることができます。チャンバーの開放構造は、均一なガス拡散と組み合わせて、エッチングされた表面全体の均一性を保証し、プロセスの結果を改善します。フォーミュラは、正確なエッチングと仕上げを実現するために必要なすべてのコンポーネントを備えているため、信頼性の高いエッチャー/アッシャーです。