中古 TEL / TOKYO ELECTRON Formula #9263883 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRONフォーミュラは、半導体ウェーハの加工に特化したエッチャー/アッシャーです。このマシンは、TEL Ltdと様々な他社との協業により開発されています。大容量マルチローダー機器、高度なトラッキングおよび制御オプションを備えた高度にカスタマイズ可能なユーザーインターフェイスを備えています。システムのASher （Advanced Sub-Half Etcher）部品は、最大20個の水晶ウェーハを並列に処理できるエッチングチャンバーを提供します。エッチング工程はウェーハの温度に影響を与えないため、エッチングとアッシング工程を同じチャンバーで行うことができます。エッチングチャンバーは、エッチング制御のためのエンドポイント検出も提供します。さらに、チャンバー内のプログラム可能なプロセスにより、特定のタスクのさらなるカスタマイズが可能になります。また、ウェーハの追跡と制御を自動化する高度なトラックユニットも備えています。これにより、ユーザーは簡単にエッチングとアッシングのプロセスを監視することができます。このマシンはまた、高度にカスタマイズ可能であり、ユーザーの好みに微調整することができます。トラックツールには、手動操作とウェーハ除去のオプションも含まれています。TELフォーミュラのユーザーインターフェイスは、直感的で、利用可能なすべてのエッチングおよびアッシングパラメータに簡単かつ簡単にアクセスできるように設計されています。また、複数の同時処理を同じ画面に表示することもできます。これにより、ユーザーは一度に複数のバッチを監視および制御することができます。このマシンは、ユーザーフレンドリーで高度にカスタマイズ可能であるように設計されています。生産レベルのウェーハ製造のための信頼性と使いやすさのために、研究開発目的だけでなく、推奨されています。高度なユーザーインターフェイスだけでなく、高度にカスタマイズ可能なトラックアセットは、機械を非常に汎用性が高く、したがって、あらゆるエッチングおよびアッシング要件に適しています。