中古 TEL / TOKYO ELECTRON Formula #9263869 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRONフォーミュラは、半導体業界のために設計された高性能エッチングおよびアッシュシステムの範囲を表します。これらのシステムは、超精密な機能を作成し、業界の厳しい規制要件を満たすように設計されています。TELフォーミュラは、エッチングとアッシュの用途に適した多目的で堅牢で信頼性の高いツールです。この装置は± 0。001"までの精密レベルを可能にし、最も要求の厳しい基板でも信頼性の高い性能を提供します。TOKYO ELECTRON Formulaは様々な技術を駆使し、最適なプロセス結果を生み出します。熱交換器とウェーブリフロー技術により、プロセス温度とウェーハトポグラフィが均一になります。このシステムには、プラズマ源で制御された電子ビーム蒸発が装備されており、非常に一貫した加熱およびエッチング操作を提供します。電子衝撃イオン化（EI）イオン源の技術は、材料の除去と堆積の可能な限り最高の速度を提供します。また、自動チャネルスイッチング、RF/DC電源制御、基板温度制御、プロセス固有のレシピなど、高度なプロセス制御機能も備えています。このユニットには、データロギングと監視機能も包括的に装備されており、文書化と分析を簡素化しています。このマシンは、複数のレシピを含むようにアップグレードすることもでき、さらに高い柔軟性と精度を提供します。TEL/TOKYO ELECTRONフォーミュラは、高度な温度制御、エッチングされた石英のるつぼ、HD対応コントローラ、ガスの流れと圧力を制御するソフトウェア、圧力プロファイリングのモデルなど、先進的な材料を使用しています。その革新的な設計は均一なプロセス条件、優秀なプロセス安定性および有効な操作を保障します。このツールは汎用性が高く、事実上あらゆる基板およびアプリケーションに複数のエッチングおよびアッシュソリューションを提供します。TELフォーミュラは使いやすさのために設計されており、より大きな資産を運用するためのリソースや人員が不足しているラボや生産施設にとって理想的なソリューションです。モジュラー設計により、ユーザーは必要に応じて機能をカスタマイズして拡張できます。また、メンテナンス性が低く、ダウンタイムがゼロで、メンテナンスが容易な設計となっています。TOKYO ELECTRON Formulaは、IEEE 1149。6-およびSECS II準拠であり、絶対的なプロセス制御を保証します。この装置は、システムのスループットを最大化し、高いプロセス歩留まりと高い製品品質を確保するために、最適化されたハードウェアとソフトウェアで構築されています。高度なプロセス機能、信頼性の高いパフォーマンス、および低メンテナンス要件の組み合わせにより、フォーミュラはさまざまなエッチングおよび灰アプリケーションに最適です。