中古 TEL / TOKYO ELECTRON Formula #9211539 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRONフォーミュラは、半導体デバイス処理用に設計された高速エッチング装置です。独自の多方向エッチングプロセスを採用し、最高の効率と精度を実現しています。各用途に最適なエッチング特性を提供する精密三次元制御を搭載しています。TELフォーミュラは、ドライエッチングやプラズマエッチングなど、さまざまなプロセス技術をサポートするように設計されています。ドライエッチングプロセスには、ボラティリティビームタイプと高度なガス混合物デリバリーユニットが組み込まれています。この組み合わせにより、エッチング速度が高く、薄膜成膜の均一性が得られます。プラズマエッチング工程は、超高密度プラズマと高分解能プラズモン構造を組み合わせ、優れたエッチング生産性を実現しています。また、エッチング効率とプラズマ選択性を高める高密度超音波蒸気ジェット（SVJ）も搭載しています。SVJは、従来のエッチングプロセスと比較して、エッチングレートが高く、エッチングコストが低くなります。さらに、RF電源工具や各種センサーを搭載し、精密なプロセス制御を実現しています。さらに、フォーミュラは、ユーザーがアプリケーションに基づいて最適なエッチングパラメータを選択できるようにすることで、エッチング処理を最適化するように設計されています。例えば、ユーザーはガスフロー、エッチング速度、エッチング深さ、トレンチサイズ、ガスパルス幅を調整できます。この高度なカスタマイズ機能により、ユーザーは最高のエッチング率で最高品質のデバイスを作成できます。TEL/TOKYO ELECTRONフォーミュラは、半導体デバイス処理用のユニークなエッチングソリューションです。高度な制御機能とカスタマイズ機能を組み合わせることで、エッチング速度の高速化、高精度、優れた生産性を実現します。セットアップと操作が簡単なので、エッチング経験が限られている人でも簡単に資産を最大限に活用できます。
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