中古 TEL / TOKYO ELECTRON Formula #9195346 を販売中
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販売された
ID: 9195346
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2010
Vertical diffusion furnace, 12"
Main computer: Windows
Operating system: LINUX
Main body
Power box
Power box plate
EXH Box
Gas box
(2) Flow boxes
Load port
(2) I/O Units
I/O Top cover
I/O Filter
(7) Parts boxes
(4) Cable boxes
2010 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRONフォーミュラは、半導体パターンなどのエッチングや彫刻に使用できるエッチャー(一般的にはアッシャー)です。これは、レーザー、UV、および化学エッチング技術の組み合わせを使用して行います。このデバイスは、電子銃からの粒子の正確なビームを使用して、望ましいエッチングパターンを作成します。このビームは小さな開口部から放出され、パターンは電極の電圧によって決定されます。TELフォーミュラエッチングプロセスは、レーザー、エッチング剤、クリーニングソリューションなど、さまざまな要素に依存しています。レーザーはテスト構造でテストされ、変更される最初のパターンを作成するのに使用されます。エッチングが完了した後、エッチングソリューションとガスを使用してパターンを形成し、基板をきれいにします。このデバイスは、エッチング用にウェーハやその他の基板を保持するホルダーアームを備えています。特殊ホルダーは様々な基材に使用できます。アームはオペレータからの入力に基づいて特定の位置に設定されます。腕は別の基質のためにさらに調節することができます。TOKYO ELECTRONフォーミュラエッチャーは、最大4本のウェーハを一度に給紙する自動給紙装置も備えています。このシステムは、デバイスが効率的に動作することを保証し、エッチング処理を高速化します。エッチング工程はクリーンで効率的で、繊細な基板のエッチングに最適です。フォーミュラエッチャーには、事故や暴露を防ぐためのいくつかの安全対策もあります。オンボードフィルターはエッチング中に空気中の粒子を避けるのに役立ち、HEPAフィルタはエッチング後のパージのために提供されます。このデバイスは、高温やその他の危険なガスに耐性のある材料でも作られています。TEL/TOKYO ELECTRONフォーミュラは、正と負の両方のエッチングが可能で、さまざまなサイズと複雑さのパターンを生成するために使用することができます。このデバイスは正確で再現性のある精度を持ち、ユーザーフレンドリーなインターフェースを備えています。繊細な素材をエッチングし、半導体パターンを作りたい方に最適です。
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