中古 TEL / TOKYO ELECTRON Formula #293622691 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRONフォーミュラ（TEL/TOKYO ELECTRON FORMULA）は、エッチャー/アッシャーであり、化学蒸気またはプラズマと反応してワーク表面から材料をエッチングする装置です。このプロセスは、半導体製造やPCB製造などの業界で使用されています。名前の通り、このデバイスは、半導体およびPCB製造装置の大手サプライヤーであるTELによって製造および販売されています。TELフォーミュラは、化学蒸着（CVD）とプラズマエッチング技術を組み合わせ、高品質のエッチング結果を生み出す高度なエッチャー/アッシャーです。TOKYO ELECTRONフォーミュラは、CVDプロセスを使用してワーク上に酸化物マスク層を作成します。このマスクは、特定のエッチングパターンを作成するためにパターン化されます。パターン化されると、デバイスはワークのエッチングを完了するためにプラズマエッチング処理を開始します。フォーミュラは、エッチングチャンバー全体に均一なガス分布を確保するために、ガス注入、配送、制御技術の高度なシステムを利用しています。これにより、サイクルごとに一貫したエッチングプロファイルを作成できます。このデバイスはまた、エッチング処理が1つのアプリケーションから次のアプリケーションまで確実に一貫していることを保証するために、広いダイナミックレンジの温度制御システムを備えています。また、TEL/TOKYO ELECTRON Formulaには、独自の材料タイプごとに精密なエッチング条件を可能にするin-situ圧力制御機能が搭載されています。TELフォーミュラはまた、比類のない程度のプロセスオートメーションを提供します。これには、完全な酸化物層登録を保証する自動CVDマスクレイヤーセンシングシステムと、エッチングプロセス設定を簡素化するレシピ駆動インターフェースが含まれます。本製品は、ホストコンピュータと連携して使用したり、東京エレクトロンネットI/Oを介して直接制御することができ、エッチングパラメータをカスタマイズして最適な結果を得ることができます。TOKYO ELECTRON Formulaは、さまざまな製造プロセスにおいて、強力で信頼性の高いエッチングソリューションを提供します。統合されたCVDおよびプラズマエッチングシステムは、精密エッチング制御を可能にし、自動化された制御とレシピ駆動インタフェースは全体的な操作を簡素化します。そのため、数式はさまざまな産業用途に最適なエッチャー/アッシャーです。