中古 TEL / TOKYO ELECTRON Formula #293620672 を販売中
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ID: 293620672
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2003
Deposition furnace, 12"
Process: SiN
Option: N28
Hard Disk Drive (HDD)
(2) Load ports
Chamber
RCU
N2 Box
Power box
Refill system
BTBAS
Gas detector box
Floor box
2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRONフォーミュラは、精密かつ効率的で信頼性の高い半導体ウェーハ加工用に設計された高度なエッチング/アッシャー装置です。その革新的な技術は、マイクロエレクトロニクス機器の製造から新しいタイプの材料の開発まで、幅広い用途で使用されています。TELフォーミュラシステムは2つのコアコンポーネントで構成されています。1つ目は、ユニット全体を制御し、基板処理データとフィードバックを提供する統合スキャニングマイクロプロセッサ（ISMP）です。2つ目はプラズマベースのエッチングチャンバー（PEC）で、半導体ウェーハの加工に関連するエッチングなどが収められています。東京エレクトロンフォーミュラのPECは、高精度のエッチング処理が可能で、高い精度と再現性を備えた高品質のウェーハパターニングを実現しています。この機械は、金属、誘電体、窒化ガリウム（GaN）を含むさまざまな材料をエッチングすることができます。PECには、精密なエッチング温度を保証する独自の統合冷却ツールと、独自の廃棄物除去アセットもあります。フォーミュラのISMPにより、ユーザーはエッチング処理を完全に制御することができ、さまざまな材料で正確かつ再現可能なエッチング結果を得ることができます。ISMPの高度なソフトウェアアルゴリズムを活用することで、モデルはエッチング戦略を策定し、各エッチングステップの進捗状況を監視することができます。これにより、ユーザーは各エッチングプロセスを正確に制御し、最高品質のウェーハパターニングを生成することができます。TEL/TOKYO ELECTRONフォーミュラは、統合された品質管理機器（iQM）により、高精度で信頼性の高い製品です。このシステムは、所望の性能基準が一貫して満たされていることを確認するのに役立ちますプロセス内の品質管理を実行します。さらに、このユニットはさまざまなセキュリティ層を備えており、すべての品質データが安全に取得、保存、処理されるようにします。結論として、TELフォーミュラは、精密で効率的で信頼性の高い半導体ウェーハ加工用に設計された高度なエッチングおよびアッシング機です。その革新的な技術と高度な品質管理機能は、さまざまなアプリケーションに最適であり、半導体ウェーハの非常に詳細で正確なパターニングに最適です。
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