中古 TEL / TOKYO ELECTRON Formula #293596091 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Formula （「TELフォーミュラ」）は、半導体の基板を取り外し、洗浄するために半導体業界で使用される強力なエッチングおよびアッシング機です。高品質で均一なエッチング結果を得ることができます。TOKYO ELECTRONフォーミュラは、複雑で高度な回路設計の生産において最高レベルの精度と効率を提供するように設計されています。エッチャーのコアは、高精度、高速スピンドルモータ、および高速で回転する大径、高速研磨ホイールです。これにより、半導体表面から材料を非常に正確に除去することができ、結果の均一性が保証されます。フォーミュラエッチャーには、エッチング工程で発生するほこりや破片を排除し、最適な性能を確保するための真空装置も内蔵されています。TEL/TOKYO ELECTRONフォーミュラエッチャーは、Photonic Discharge Electron Lithography （PDEL）と呼ばれる独自の特許を取得したプロセスを利用して、半導体基板のエッチングとクリーニングを行います。PDELは、高出力の紫色レーザーを使用して、基板から物質を非常に均一にエッチングする高強度の電子の泡を生成する高度なエッチング技術です。この高度なエッチング技術により、TELフォーミュラエッチャーは幅広い高度な回路設計を迅速かつ正確に行うことができます。トーキョーエレクトロンフォーミュラエッチャーは、インテリジェントで包括的な制御システムを備えており、チャンバー圧力や温度、基板電力、レーザー出力などのエッチングパラメータを調整することができます。これにより、特定のアプリケーションに最適な結果が得られ、エッチングパラメータを調整する際の柔軟性が向上します。このユニットには、エッチング条件ごとに記録するメモリも内蔵されており、エッチング処理の詳細なビューを提供します。結論として、フォーミュラは半導体業界で使用される高度なエッチャーおよびクリーナーです。このエッチャーは、革新的で精密なPDELエッチング技術を使用しており、インテリジェントな制御機械により、エッチングパラメータをカスタマイズして高品質で均一なエッチング結果を提供できます。さらに、本機の真空工具は、粉塵や破片が半導体基板を汚染するのを防ぎ、最適な性能を保証します。