中古 TEL / TOKYO ELECTRON Formula ALD High-K #9404261 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Formula ALD High-Kは、原子層成膜（ALD）技術に基づいた高度なエッチャー/アッシャーです。ALD機器のTELラインに加え、技術者や科学者が高精度で高精度なデバイスを作成するのに役立つように設計されています。TELフォーミュラALD High-Kは、高K誘電体と金属の相互接続材料をエッチングするように設計されています。低圧および低温環境を使用して、材料の損失と敏感な電子部品の損傷を最小限に抑えることができます。エッチャー/アッシャーは、動的反応チャンバーや安定したプラズマチャンバーなどの高度な機能を備えており、精密で一貫したエッチング結果を得ることができます。このプロセスは、プロセスプログラムを使用して前駆体ガスのパルス配列を制御する2段階のプロセスで行われ、材料の均一なエッチングが行われます。TOKYO ELECTRON Formula ALD High-Kには、プロセスプログラム、ログファイル、タッチスクリーンインターフェースなど、さまざまなアクセサリーが付属しています。また、エッチングおよびプロセス最適化のためのソフトウェア対応シミュレーションも備えており、ユーザーはエッチング処理をカスタマイズし、特定のアプリケーションに最適化することができます。このデバイスには、予期しないまたは危険なイベントが発生した場合の自動シャットオフやアラートなどの安全対策が装備されています。また、機器の性能を監視し、デバイスの消費電力を最適化するパワーマネジメントシステムを搭載しているため、エネルギー効率が良いように設計されています。要約すると、Formula ALD High-Kは高度なエッチャー/アッシャーであり、高K誘電体と金属の相互接続材料を高精度で均一にエッチングするために設計されています。その高度な機能、多数のアクセサリ、エネルギー効率の高い設計は、高度なデバイス開発のための貴重なツールとなります。