中古 TEL / TOKYO ELECTRON Formula ALD High-K #9372779 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Formula ALD High-Kは、次世代のエッチャー&アッシャーです。高度な半導体プロセス用に構築された高性能ツールです。これは、ユーザーが高精度のエッチングとアッシング操作を実現することができるいくつかの最先端の機能を備えています。ALD High-Kは、正確で再現可能なエッチングに必要なパワーとスピードをエネルギー効率よく提供するコンパクトな設計です。600mmのプロセスチャンバーを搭載しており、大きな複雑な構造のエッチングが可能です。チャンバーには4段階の差動ポンピングシステムと光学モニタリング装置が装備されており、精度を高め、微細なエッチング結果を保証します。このツールは、高度な冷却システムのおかげで、長期間の使用後に安定した処理条件を維持することができます。ALD High-Kは、耐久性のある高性能ハードウェアに加えて、強力なソフトウェアも誇っています。高度なパターン認識アルゴリズムにより、エッチングの弱い部分をリアルタイムで検出することで、最適なエッチング性能を実現します。さらに、ユーザーフレンドリーなGUIインターフェースは、効率的な操作を容易にします。ALD High-Kは、ポリシリコンおよびシリカエッチング、銅の除去、金属異方性エッチングなど、幅広いエッチングおよびアッシング用途に対応しています。半導体プロセス制御も可能で、ユーザーはエッチング処理をさらにカスタマイズして最適化することができます。全体として、TEL Formula ALD High-Kは、最新の半導体産業のニーズを満たすように設計された強力で信頼性の高いエッチャーおよびアッシャーです。最先端のハードウェアとソフトウェア機能により、あらゆる用途で再現性のある正確な結果を提供できます。