中古 TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1S-H #293796682 を販売中

ID: 293796682
ヴィンテージ: 2016
Furnace Process: TEOS Gas flow chart Gases: Pure N2, 20% F2 / N2, HF, Q2 Power box Exhaust box WAVES Controller Rapid Cooling Unit (RCU) Pump diameter: 100 A CKD VEC-V8 Series Valve 2016 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-H(またはF1S-H)は、様々な材料に精密エッチング/アッシング機能を提供するケミカルエッチャー/アッシャーです。エッチングガスライン2本、エネルギーガスライン2本のコンパクトな4気筒装置です。このシステムは高度に自動化されており、ユーザーはさまざまなエッチング/アッシング作業のために必要な条件をプログラムすることができます。F1S-Hは高解像度ヒーターなどの高度な機能を備えており、精密な温度制御が可能です。また、4つのガスラインすべてに独立した制御を備えており、エッチング/アッシング効率を最大化するための正負の圧力調整を可能にします。単位の温度は水晶合成の熱電対によって監視されます。温度はエッチング/アッシュされる材料に合わせて4〜600℃の範囲で調整できます。F1S-Hはまた、3〜55マイクロメートルのノズルを交換可能なマルチヘッドノズル機を備えており、各ノズル間の距離は最小限です。これにより、必要に応じてエッチングパターンのサイズと形状を正確に調整でき、より正確な結果が得られます。F1S-Hには、乾燥したフィルムと濡れたフィルムの両方に最適な高度なフィルムハンドリングツールもあります。このアセットは、酸化インジウム、金、アルミニウムなどのフィルムタイプを扱うことができます。フィルム基板は、3〜15ミクロンの膜厚で最大8インチ幅まで加工できます。安全対策のために、F1S-Hには室内および外部排気ガス監視機能が装備されています。このモデルは、ガスのレベルが安全でないレベルに達すると、自動的にチャンバーをシャットオフするように設計されています。TEL Formula-1S-Hは、エッチング/アッシング用途に最適なソリューションで、精度と効率を提供します。その高度な機能と機能により、幅広いエッチング/アッシングのニーズに対応できます。コンパクトな設計と堅牢な設備により、F1S-Hはさまざまな産業、実験室、研究ニーズに対応する経済的で信頼性の高い選択肢です。
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