中古 TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1S-H #293744364 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-Hは、集積回路やマイクロエレクトロメカニカルシステム（MEMS）の産業用に設計・設計された最先端のエッチング/アッシング機器です。この高度なシステムは、高いスループット、精密エッチングプロセスを確保するために設計されており、デバイスの歩留まりの向上、プロセスの信頼性の向上、サイクル時間の短縮をもたらす可能性があります。TEL Formula-1S-Hは、プロセス制御と予測可能な結果を確実にするために、高真空環境を利用しています。この高真空化機能は、ウェーハ上の汚染物質の堆積を防ぐのに役立ち、また、ウェーハの1バッチから別のバッチへの相互汚染を防ぐのに役立ちます。このユニットは、効率的なプロセスの均一性、ウェーハ位置の均一性、および温度のために設計されたプロセスチャンバーで、直径2インチから8インチまでのウェーハサイズの範囲を収容することができます。エッチング処理は低応力環境で行われ、エッチング処理中のデバイスのストレスと損傷を最小限に抑えるのに役立ちます。機械はエッチング工程の間に精密な温度および電力制御を保障するのに高度のコンピュータ化された温度調整および電力管理システムを利用します。この温度制御ツールは、指定されたプロセスパラメータに従ってサンプルの温度を調整する機能を備えています。パワーマネージメントサブシステムを使用すると、エッチングのパワーレベルと蒸着速度を調整して最適な結果を得ることができます。東京電子Formula-1S-Hでは、ウェットエッチング、ドライエッチング、アッシング、スパッタリング、イオン注入プロセスの幅広いサポートも行っています。このアセットは、さまざまな遠隔監視システムと統合されており、ユーザーはウェーハの状態、蒸着、エッチングパラメータをリアルタイムで監視できます。この技術は、プロセスが一貫した信頼性を維持することを保証します。この高度なモデルはまた、高度な監視システムを使用して、ユーザーが個々のエッチングおよびアッシング実行の結果を監視し、プロセスの均一性と安定性を確保することができます。さらに、装置は完全にカスタマイズ可能であり、ユーザーは避難パラメータ、プロセスチャンバーサイズ、サンプルラック、ターゲットウェハサイズ、オリエンテーションおよびその他のパラメータを指定することができます。Formula-1S-Hは、マイクロエレクトロニクスおよびMEMS製造におけるアプリケーションの一貫した均一な処理結果を保証するために設計された、強力で汎用性の高いエッチングおよびアッシングシステムです。このユニットの高度な温度および電力管理システムは、信頼性の高いプロセス制御環境を提供し、リモート監視機能により、ユーザーはウェーハの状態、蒸着、エッチングのパラメータをリアルタイムで監視できます。このマシンのカスタマイズ可能な構成により、ユーザーは必要に応じてエッチングおよびアッシングプロセスを効果的にスケーリングできます。