中古 TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1S-H #293654964 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-Hは、半導体デバイス製造に使用される精密微細加工プロセスに特化したエッチャー/アッシュです。Back-end-of-line （BEOL）層と高度な構造をエッチング、クリーン、平面化する機能を提供する、汎用性の高いツールセットを備えた単一の製造プラットフォームです。このマシンは、高い生産性レベルを可能にしながら、高い柔軟性を提供するように設計されています。この装置は、高度なマイクロエレクトロニクス製造に使用され、単純なシャドウマスクから複雑な構造を持つ高密度デバイスまで、幅広い微細構造を扱うことができます。TEL Formula-1S-Hは、高いスループットレベルでのエッチングとクリーニングが可能で、精度と信頼性を保証する完全な自動機能を備えています。バックエンド・オブ・ライン層に必要なウェット・プロセスとドライプロセスの両方に対応できる統合クリーニングシステムを備えています。精密なアライメントとモーションコントロールのための高度なCADユニットを備えています。このマシンには、リアルタイムのフィードバックとパラメータの調整を可能にする高度なプロセス制御ソフトウェアがあり、歩留まりを保証します。TOKYO ELECTRON Formula-1S-Hは、高いスループットと再現性を実現するよう設計されています。そのモジュラーアーキテクチャとユーザーフレンドリーなグラフィカルコントロールソフトウェアは、簡単なプロセス設定を可能にします。また、メンテナンスやプログラミングを目的としたセキュアでリモートアクセスを可能にする安全なインターフェースも備えています。このツールには、自動化された操作と強化されたデバイス保護のためのプログラマブルロジックコントローラも装備されています。また、温度・圧力センサ、火災・ガス検知システム、プロセスモニタリングなどの安全機能と保護機能も備えています。このモデルは、微細な基板構造上の残留応力と歪みを低減する低温幾何エッチング機能を備えています。また、最高の性能を確保するために粒子汚染を低減する最適化された堆積プロセスを備えています。Formula-1S-Hは、国際的な半導体製造業界の基準を満たすように設計されています。これは、汎用性と信頼性の高い業界をリードするエッチングとアッシング機器です。それは優秀な性能および加速された微細加工の成長を提供します。このシステムは、使いやすく、柔軟で費用対効果が高いように設計されています。TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-H、最新の半導体デバイス製造における高精度の微細加工ニーズに最適です。