中古 TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1S-H #293653295 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-Hは、使いやすいデザインの高性能エッチャー/アッシャーです。この機器は、シングルラインシステムまたはデュアルラインシステムを備えたトップローディング構成とボトムローディング構成の両方を備えています。エッチャー/アッシャー圧力制御は、2段の2ステーション圧力レギュレータによって維持されます。シングルラインユニットは最大5つのレシピを同時に処理でき、デュアルラインは最大10のレシピを同時に処理できます。また、基板の積み降ろし用の高解像度X-Y-Zロボットや、精密なエッチングおよびアッシングプロセス用のプログラマブルなサイドウォールアングルコントローラも備えています。TEL Formula-1S-Hエッチャー/アッシャーは、RFと直接加熱コイルのハイブリッド加熱方式を採用し、パッチ領域全体の温度均一性を確保します。チャンバーの大気はターボ分子ポンプを介して制御され、連続的な分析とメンテナンスが可能です。プロセスを監視するためのリアルタイム干渉計と、冷却された排気を備えたフィルターレスベントツールが含まれています。アセットには、モデルとそのオペレータを保護するためのロックアウト周波数リミッターを備えたプログラム可能な安全インターロックも含まれています。1点電子ビーム電源で機器に直接接続できる便利な電源です。最後に、赤外線加熱システムを使用して、環境温度を所望の温度に下げます。TOKYO ELECTRON Formula-1S-Hエッチャー/アッシャーは、あらゆるエッチングやアッシング用途で正確な結果を得ることができる、信頼性と柔軟性に優れたユニットです。そのユーザーフレンドリーな設計、統合された安全機能、高度な温度制御機能により、エッチングおよびアッシング操作に最適です。
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