中古 TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1S-H #293651983 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-Hエッチャー/アッシャーは、信頼性の高いハイスループットウェーハエッチング用途向けに設計されています。この装置は、効率的な酸化およびエッチング処理のために、ロードロックとトランスファーチャンバー、アンチカンバ、エッチング反応ゾーンを備えた特許取得済みの3ゾーンアーキテクチャを備えています。TEL Formula-1S-Hは、自動化された再現可能なプロセス制御と監視のための統合ソフトウェアシステムを利用しています。このユニットは、1x10-6 torrの高真空環境を形成することができる高真空成形およびクリーニングチャンバーで設計されています。自動化されたクールダウンマニホールドは、エッチング前に基板の均一で再現可能な冷却を保証します。シンプルで直感的なユーザーインターフェイスにより、ユーザーはプロセス条件とガス流量を素早くプログラミングできます。メインチャンバーには、サンプルエッチング用の反応ゾーンがあり、エッチング電力を正確に制御するための可変周波数、高周波ジェネレータを備えています。回転する持ち上がる腕は機械の安定性に加え、可変的で、反復可能なエッチングを可能にします。また、超高分解能マスフローコントローラ（MFC）を搭載し、電子制御ユニット（ECU）のフォワードパワー設定により、ハンズフリープロセス制御とRFパワーレギュレーションを実現しています。TOKYO ELECTRON Formula-1S-H etcher/asherには、マルチゾーン制御の強化、優れたエッチング均一性、大容量カセットローダー、基板加熱マニホールドの改良、レドックス抵抗性、ヘビーデューティステンレスチャンバーなどの機能が追加されています。独自のスプリング洗浄ツールにより、プロセス時間がさらに短縮され、自動洗浄アセットによりエッチング残留物の形成が削減され、内部コンポーネントの有用な寿命が向上します。Formula-1S-Hエッチャー/アッシャーは、窒素でパージするガス、裏面排気プレナ、その他のインターロックなど、さまざまな安全オプションを利用しています。チャンバー温度を監視するための高度な赤外線ポートが用意されており、包括的な監視およびプロセス制御モデル、およびリアルタイムのプロセスデータ取得が含まれており、プロセスの信頼性を最大限に高めています。結論として、TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-H etcher/asherは、エッチングおよびアッシング用途向けの信頼性が高く、効率的な機器です。一貫した結果を保証するために、多くの高度な機能と多数の安全機能が含まれています。このシステムは、中規模から高容量のエッチングおよびアッシング用途に適しており、TEL業界をリードするサービスとサポートに支えられています。