中古 TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1S-H #293647206 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1S-Hは、手動および自動半導体製造プロセス向けに設計された高度なエッチングおよびアッシング装置です。このシステムはオープンアーキテクチャのプラットフォーム上に構築されており、ソフトウェア、材料、コンポーネントの選択に最大限の柔軟性を提供します。エッチャー/アッシャーユニットは、高速磁気攪拌機とホットプレートを使用して処理前にウェハを予熱する処理室で構成されています。このチャンバーは、超高真空（UHV）でアッシングとエッチングサイクルを実行することができ、強力な高周波プラズマ源も装備されています。このユニットは、ウェーハの積み下ろしと積み下ろしの効率が高く、さまざまなウェーハ径（2〜6インチ）を処理することができます。このセットアップにより、手動または自動化された操作も可能になり、本番環境に最適です。プロセス制御は非常に高度であり、各処理ステップの詳細なパラメータ設定、監視、および文書化を可能にします。これにより、最高の再現性と製品品質が保証されます。その他の機能としては、高容量のオンボードガス供給があり、高精度のフローコントロールにより一貫したエッチング/アッシング結果が得られます。このツールは、インラインメトロロジーツールとリアルタイムウェハクリーニングアセットと統合することもでき、効率性と統合された品質管理を実現します。TEL Formula-1S-H etcher/asherは、半導体業界の標準を満たすように設計されており、安全で信頼性の高い結果を提供し、オートメーション駆動の生産環境に最適です。このモデルはインストールとメンテナンスが簡単で、ユーザーの介入を最小限に抑え、校正機能を内蔵しています。これにより、最新の半導体製造事業に最適です。