中古 TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1-H #293641260 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1-H （F1-H）は、半導体ウェハの高速処理に使用される高性能エッチャー/アッシャーです。600°Cまでの温度でウェーハのエッチングとアッシングが可能で、3つの主要半導体材料すべてのエッチングをサポートするデュアル・ガス供給装置を備えています。F1-Hには、高解像度のテーブルトップイメージ/フィルターとデジタル画像処理システム、高度なプロセス制御システムも装備されています。このF1-Hは、堅牢なアルミニウム製の真空チャンバーを備えた改良された設計で、同じプロセスとチャンバーでエッチングとアッシングを行うことができます。これにより、複雑なVLSI回路を製造するためのタイトなライン幅と公差レベルの製造が可能になります。さらに、F1-Hの専用コンソールターミナルでは、プロセス制御を簡単にセットアップおよびメンテナンスできます。F1-Hには高度なチャンバー冷却システムが装備されており、加工中のチャンバー温度を安定させ、ワークの熱応力を排除します。さらに、このユニットのガス供給ユニットは、最大6つの独立したガスチャネルの正確なガス制御を可能にし、エッチングおよびアッシングパラメータの正確な制御を可能にします。F1-Hはまた、繊細なウェーハを傷つける可能性を減らすために穏やかな洗浄方法を使用するように構成することができるウェーハ洗浄機を備えています。F1-Hのプロセス時間はわずか30分で、優れたエッチングおよびアッシング機能と相まって、高いスループットと製造効率を実現します。さらに、このユニットのプログラマブルコントローラは、ユーザーがプロセスレシピを保存してリコールすることができ、いくつかのSEMI標準ソフトウェアプログラムと互換性があります。F1-Hは、多層半導体部品の大量生産に適した信頼性の高い高性能エッチャー/アッシャーです。