中古 TEL / TOKYO ELECTRON Formula-1-H #293641258 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Formula-1-Hは、ウェハレベルのデバイス製造用に設計されたエッチャー/アッシャーです。マルチチャンバー、マルチガス、マルチカセット加工を採用し、100mm、 150mmのウエハ処理が可能です。このエッチャー/アッシャーにより、ウェハレベルのデバイス製造プロセスは従来のプロセスよりもはるかに高速で効率的です。TEL Formula-1-Hエッチャー/アッシャーは、ウェットとドライエッチングの両方を可能にするマルチチャンバープラットフォームを備えています。そのマルチガス機能は、最大4つの処理可能なガスで汎用性を追加し、さまざまな反応を可能にします。これにより、ディープエッチングとハードマスクエッチング、コンタクトエッチングと異方性エッチングの両方が可能になります。マルチカセット機能は、制御されたガス補充を可能にし、処理時間を削減し、ターンアラウンドを最適化します。プロセスガスの分離は、環境の安全性を向上させ、クリーンルームへの負荷を軽減することができます。TOKYO ELECTRON FORMULA 1Hは、生産スループットの高い単層および多層プロセスのウェハレベルのデバイス製造用に設計されています。低消費電力設計で、プロセス時間を短縮できる高速ウェーハ搬送ロボットを搭載しています。マルチチャンバープラットフォームは柔軟性と拡張性を考慮して設計されており、必要に応じてさらに洗練されるさまざまな新しいプロセスを可能にします。このシステムは、金めっきチャンバー表面も備えており、メンテナンスコストを削減し、よりクリーンな処理を保証します。TOKYO ELECTRON Formula-1-Hには、プロセス汚染を防止する自動洗浄システムが搭載されています。また、高度な安全機能を備え、最適なオペレータの安全性を確保します。Formula-1-Hエッチャー/アッシャーは、半導体業界での使用に最適であり、ウェハレベルのデバイス製造を最大限の効率で可能にします。