中古 TEL / TOKYO ELECTRON Etch chamber for Certas RST #293671309 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Etch Chamber for Certas RSTは、集積回路部品および基板の製造において、高度で信頼性の高いエッチングおよびアッシングシステムです。このエッチングチャンバーは、アルミニウムインターコネクトのエッチングからフォトレジストのアッシング、特定の材料のアニールまで、幅広いプロセス作業を行うことができます。TELエッチングチャンバーは高精度で、最高レベルの信頼性と再現性を提供します。高精度RFジェネレータ、デュアルゾーンRF電極、統合された温度制御などの先進的な機能を採用しており、最も厳しいプロセス許容誤差を実現しています。エッチチャンバーの堅牢で信頼性の高い機能に加えて、使いやすいコントロールとソフトウェアで設計されています。これは簡単なユーザーエクスペリエンスになります。容易な操作のためにエッチング部屋変数はすぐに貯えられ、取り出し、そして編集することができます。TOKYO ELECTRONエッチングチャンバーは、効率的で生産性の高いツールとして設計されています。トライモードウェハトランスファーメカニズムを採用し、極めて高いスループットでウェーハの低圧ロードとアンロードが可能です。さらに、エッチングチャンバーのベッドには高度なプロット機能が組み込まれており、エッチングやプラズマアッシングに使用されるテンプレートを設計および描画できます。TEL/TOKYO ELECTRONエッチングチャンバーは、多種多様なプロセスアプリケーションを処理するための非常に強力で汎用性の高いツールです。その精密構造と使いやすい制御により、MEMS製造、プラズマアッシング、ポリイミド除去など、幅広いエッチングおよびアッシング用途に適しています。このエッチチャンバーは安全性を考慮して設計されています。これは、複数の圧力センサーや温度センサーなどのさまざまな安全機能を備えているだけでなく、チャンバーが稼働している間にオペレータや人員が害を受けないように保護されたRFエレクトロニクスを備えています。Certas RST用のTELエッチングチャンバーは、信頼性と高度なエッチングおよびアッシングシステムであり、最も厳しいプロセス許容誤差を満たし、最高のスループット速度を達成することができます。使いやすいインターフェース、堅牢な構造、安全機能を備えたこのエッチングチャンバーは、あらゆるIC製造またはデバイス製造のニーズに確実に対応します。