中古 TEL / TOKYO ELECTRON DRM #293616604 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON DRMは、パターンを基板に伝達するエッチング装置です。シリコンウェーハ（またはその他の材料）にイオンなどの荷電粒子のビームを吹き付け、ウェーハ表面に希望のパターンを作成することで動作します。これらのイオンはエネルギーを保持し、このビームのエネルギーが十分に低い場合、イオンは同時に材料に損傷を与えません。エッチング機構は、エッチング過程で化学物質の代わりにイオンを使用するため、フォトレジストアッシャーまたはドライエッチャーとしても知られています。このエッチング方法は、（液体化学薬品を使用しないため）より少ない破片ではるかに高速エッチングを可能にし、液体エッチングで達成することができるよりもはるかに細部のパターンを生成することができます。TEL DRMは、プラズマアシストエッチングプロセスを使用して、より高い精度を実現しています。このプロセスでは、機械のチャンバーに中性ガス（典型的にはヘリウムと酸素の混合物）が導入され、2つの電極の間に高電圧が印加されます。2つの電極の間の電場は、ガスが充電され、プラズマを形成します。プラズマ中の個々のガス分子イオンは、そのエネルギー格子をそのままにしながらウェーハの表面に衝突し、ウェーハへの損傷を回避します。イオンのビームは特定の領域に集中している可能性があり、このビームでは、エッチング工程で使用される何百万もの異なるエッチングパターンのライブラリが保存されます。さらに、エッチングプロセス中に、プラズマのネットエネルギーを変更し、エッチングプロセスに追加の制御と精度を提供する外部電圧で機械を制御することができます。TOKYO ELECTRON DRMは高精度で信頼性の高い機械で、ライン幅が非常に低く、高解像度のパターンを作成することができます。最小限のメンテナンスで高品質な最終結果を達成し、幅広い材料に使用できます。さまざまな業界の薄膜エッチングに人気があり、効果的な選択肢です。